片面研磨用保持材

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西澤利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-100304
公開番号（公開出願番号）：特開2013-226623
出願日： 2012年04月25日
公開日（公表日）： 2013年11月07日
要約：

【課題】保持面における水に対するなじみが良くかつその場所によるバラツキを少なくし、前記被研磨物の密着保持を安定化すること、および被研磨物と保持面との間に水が均一に保持され、空気の咬み込みや残留を防ぐことで、被研磨物の保持を安定化し、研磨加工中に、前記保持材に搭載された被研磨物端面から、前記被研磨物と前記保持材の間に研磨液が浸入することを防止すること。【解決手段】湿式成膜法により製造される複合体シートの片面研磨用保持材において、前記保持面に対するエンボス加工により、前記保持面の水に対する接触角が低減され、且つ、前記接触角のばらつきを低減する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

湿式成膜法により製造される樹脂を主体とする複合体シートの片面研磨用保持材において、前記保持材の保持面に対するエンボス加工により、前記保持面の水に対する接触角が低減され、且つ、前記接触角のばらつきが低減されていることを特徴とする片面研磨用保持材。

IPC (1件)：

B24B 37/30

FI (1件)：

B24B37/04 L

Fターム (4件)：

3C058AA07 , 3C058AB04 , 3C058CA06 , 3C058CB01

引用特許：

審査官引用 (5件)

吸着パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-108229 出願人：帝人コードレ株式会社
研磨保持用パッドおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-158667 出願人：日本発條株式会社
研磨保持用パッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-151566 出願人：日本発條株式会社

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