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J-GLOBAL ID：201402265674685268   整理番号：14A0583303

法線ベクトル追跡法を用いたナノプロファイラによる高精度球面鏡に関する三次元表面図形測定

Three-dimensional surface figure measurement of high-accuracy spherical mirror with nanoprofiler using normal vector tracing method

著者 (6件)： KUDO R. (Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol., Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  OKUDA K. (Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka ...) ,  USUKI K. (Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka ...) ,  NAKANO M. (Dep. of Precision Sci. and Technol., Graduate School of Engineering, Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka ...) ,  YAMAMURA K. (Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol., Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, JPN) ,  ENDO K. (Res. Center for Ultra-Precision Sci. and Technol., Osaka Univ., 2-1 Yamada-oka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 85  号： 4  ページ： 045101-045101-5  発行年： 2014年04月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極端紫外光源を用いた処理技術(例えば次世代リソグラフィー)は,次世代高精度ミラーを必要とする。非球面ミラーなどの次世代高精度ミラーに必要な程度の精度を,伝統的処理法で得るのは困難なので,このようなミラーの製造には,ナノ測定技術の急速な進歩が必要である。次世代ミラーの表面図形測定に使用する測定法は高精度を要するので,著者らは,高精度ミラーの図形を,参照表面を用いずに測定できる新しいナノプロファイラを開発した。ここで提示した方法の精度は,参照表面の精度によって制限されないので,自由形状の測定の実現が期待される。ナノプロファイラで得た測定点での法線ベクトルおよびその座標値を処理するためのアルゴリズムを用いて,著者らの測定法は三次元形状を再構築できた。まず,著者らは,曲率半径1000mmの凹面球面鏡の表面を上記方法で測定し,測定の再現性を0.6nmと評価した。サブnmの再現性を実現し,ナノプロファイラの動的剛性の改善でこの再現性の増強が期待できることを示した。現在の装置を用いた測定の不確かさを,数値シミュレーションによって,約10nmと推定した。さらに,Fizeau干渉計の不確かさも約10nmであった。本論文で提示した方法を用いて得た結果を,Fizeau干渉計を用いて得た結果と比較した。結果のプロファイルは,ミラーの中心部分での不確かさの範囲内で矛盾が無かった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *形状測定 ,  ベクトル ,  *球面鏡 ,  凹面鏡 ,  半径 ,  精度 ,  再現性 ,  三次元 ,  測距儀 ,  形態 ,  曲面 ,  計算機アルゴリズム ,  シミュレーション ,  干渉計 ,  Fizeau干渉計 ,  レーザプロファイラ ,  曲率半径 ,  高精度 ,  数値シミュレーション ,  *表面計測 ,  法線ベクトル
準シソーラス用語： ナノプロファイラ ,  自由形状曲面

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 法線ベクトル ,  追跡 ,  プロファイラ ,  球面鏡 ,  形測定