特許
J-GLOBAL ID：201403002646347600

固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法及び電子機器

発明者：
榎本 貴幸

榎本 貴幸 について

, 
蛯子 芳樹

蛯子 芳樹 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-173188
公開番号（公開出願番号）：特開2014-033107
出願日： 2012年08月03日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
要約：
【課題】集光特性の向上が図られ、光学混色の低減等の特性をさらに向上させた固体撮像装置を提供する。また、その固体撮像装置を用いた電子機器を提供する。【解決手段】基板と、基板に設けられた複数の光電変換部と、溝部と、埋め込み膜と、遮光膜とを有し、隣り合う光電変換部間に設けられた素子分離部を備える。溝部は、基板の深さ方向に開口幅が小さくなるように設けられた段差部を有する。また、埋め込み膜は、溝部の内壁面を被覆するように溝部内に埋め込まれている。また、遮光膜は、溝部の直上に設けられ、少なくとも一部が埋め込み膜に埋め込まれている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板に設けられた複数の光電変換部と、 前記基板の深さ方向に開口幅が小さくなるように設けられた段差部を有する溝部と、 前記溝部の内壁面を被覆するように前記溝部内に埋め込まれた埋め込み膜と、前記溝部の直上に設けられ、少なくとも一部が前記埋め込み膜に埋め込まれた遮光膜とを有し、隣り合う前記光電変換部間に設けられた素子分離部と を備える固体撮像装置。
IPC (4件)：
H01L 27/14 ,  H01L 27/146 ,  H04N 5/369 ,  H04N 5/374
FI (4件)：
H01L27/14 D ,  H01L27/14 A ,  H04N5/335 690 ,  H04N5/335 740
Fターム (29件)：
4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118CA18 ,  4M118CA32 ,  4M118CA34 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118FA06 ,  4M118FA25 ,  4M118FA26 ,  4M118FA33 ,  4M118GA02 ,  4M118GB04 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GB19 ,  4M118GC07 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AX01 ,  5C024CX01 ,  5C024CX11 ,  5C024CY47 ,  5C024GX24 ,  5C024GY31
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (3件)

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