特許
J-GLOBAL ID：201403003753544806

研削装置

発明者：
和田 健太郎

和田 健太郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (3件)： 川村 恭子 ,  佐々木 功 ,  久保 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-047744
公開番号（公開出願番号）：特開2014-172131
出願日： 2013年03月11日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
要約：
【課題】板状ワークを無駄にすることなく、かつ加工時間をかけず板状ワークを所望の仕上げ厚みに研削する研削装置を提供する。【解決手段】研削装置に備える厚み測定手段40は、板状ワークWの半径の中点となる第1の測定点と、第1の測定点から中心方向と外周方向とにむけて均等な距離で離反する第2の測定点と第3の測定点との少なくとも3点において板状ワークWの厚みを測定する測定部41を備えており、3点の測定結果を基に判断部50で板状ワークWの厚み分布を判断するとともに算出部51で傾き調整手段13の調整量を算出できる。この調整量に基づいて制御部52が傾き調整手段13を制御し保持手段10の回転軸12の傾きを調整しつつ、第2の研削手段20bにより板状ワークWを均一の仕上げ厚みに研削することができる。保持手段10の回転軸12の傾き調整のために研削加工を一時停止することがないため、板状ワークWの加工時間を短縮できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
板状ワークを保持し回転可能な保持手段と、該保持手段に保持された板状ワークを研削する研削手段と、該研削手段を上下動作させる昇降手段と、該保持手段に保持された板状ワークの厚みを測定する厚み測定手段とを少なくとも備える研削装置であって、 該保持手段は、板状ワークの一方の面を保持する保持面と、該保持面の中心を軸とする回転軸と、該回転軸の傾きを調整する傾き調整手段とを少なくとも備え、 該厚み測定手段は、該保持面に保持される板状ワークの上方から該板状ワークの半径の中点となる第1の測定点と、該第1の測定点から中心方向と外周方向とにむけて均等な距離で離反する第2の測定点と第3の測定点との少なくとも3点において板状ワークの厚みを測定する測定部を備え、 該研削装置には、該測定部による該3点の測定結果を基に板状ワークの厚み分布を判断する判断部と、該3点の測定結果を基に該傾き調整手段による該回転軸の調整量を算出する算出部と、該算出部によって算出された調整量に基づいて傾き調整手段を制御する制御部と、を備えており、 該研削手段によって板状ワークを研削している間に、該厚み測定手段により少なくとも該3点の厚みを測定し、該3点における測定結果を基に該判断部で板状ワーク厚み分布を判断するとともに該算出部で該傾き調整手段の調整量を算出し、該制御部によって該算出部で算出された該調整量に基づいて該傾き調整手段を制御し、板状ワークを均一の厚みに研削することを特徴とする研削装置。
IPC (2件)：
B24B 49/02 ,  B24B 41/06
FI (2件)：
B24B49/02 Z ,  B24B41/06 L
Fターム (7件)：
3C034AA08 ,  3C034BB73 ,  3C034CA02 ,  3C034CA22 ,  3C034CA26 ,  3C034CB08 ,  3C034DD07
引用特許：
審査官引用 (8件)
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