特許
J-GLOBAL ID：200903060448549087
ウェーハの研削加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-261292
公開番号（公開出願番号）：特開2009-090389
出願日： 2007年10月04日
公開日（公表日）： 2009年04月30日
要約：
【課題】ウェーハの裏面を研削する研削加工装置において、研削手段の回転軸の傾きの調整を容易にすることで、生産効率およびウェーハの品質の向上を図る。【解決手段】研削ユニット30に回転軸30aを傾かせる傾斜調整機構100と、様々な研削条件に対応した角度調整値を記憶する研削条件記憶手段110を設ける。ウェーハ1の研削条件を研削条件記憶手段110で選択することで、研削ユニット30の角度調整値が読み取られる。この角度調整値に基づいて、傾斜調整機構100の、前後調整用スペーサ101と左右調整用スペーサ105とを動かすことで、研削ユニット30がウェーハ1の研削条件に対応した傾斜角度に調整される。研削ユニット30の角度を調整した後、研削ユニット30によりウェーハ1を研削することで、所望の厚さのウェーハ1が得られる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
表面にデバイスが形成され、該表面に保護部材が被覆されたウェーハを、裏面が露出する状態で保持する保持面を有する回転可能な保持手段と、
該保持手段の前記保持面に対向配置され、前記保持手段の回転軸と平行な回転軸を有する研削手段と、
該研削手段の回転軸の傾きを任意の角度に調整する傾斜調整手段と、
前記保持手段と前記研削手段とを、研削手段の前記回転軸に沿って相対移動させて互いに接近・離間させるとともに、接近時に前記研削手段によって前記ウェーハの裏面を研削して該ウェーハの厚さを減じさせる送り手段とを有するウェーハ研削装置において、
ウェーハの研削条件を記憶する研削条件記憶手段が設けられるとともに、該研削条件記憶手段に記憶された該研削手段の回転軸の傾き角度に基づいて、前記傾斜調整手段によって研削手段の回転軸の傾きが調整可能であることを特徴とするウェーハの研削加工装置。
IPC (3件)：
B24B 41/047
, B24B 7/22
, H01L 21/304
B24B41/047
, B24B7/22 Z
, H01L21/304 631
3C034AA08
, 3C034BB73
, 3C034CB08
, 3C034DD10
, 3C034DD15
, 3C043BB00
, 3C043CC04
, 3C043DD05
, 3C043EE04
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (8件)
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