特許
J-GLOBAL ID：201403005229265560

チャックテーブル

発明者：
関家 一馬

関家 一馬 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-087204
公開番号（公開出願番号）：特開2014-212190
出願日： 2013年04月18日
公開日（公表日）： 2014年11月13日
要約：
【課題】枠体とともにポーラスプレートを基台から取り外す際に、枠体からポーラスプレートが脱落することを防止できるチャックテーブルを提供する。【解決手段】吸引手段に連通する開口を上面に備えた基台の上面に着脱可能に装着され、被加工物を吸引保持するチャックテーブルであって、多孔質部材によって円盤状に形成され上面に被加工物を吸引する吸引保持面を備えるとともに下面に基台の上面に対面する接合面を備えたポーラスプレートと、ポーラスプレートの外周面を保持する内周面を有する枠体とを具備し、ポーラスプレートの外周面には環状の外周溝が形成され、枠体の内周面には環状の外周溝と対応する環状の内周溝が形成されており、環状の外周溝と環状の内周溝にボンド剤が充填されポーラスプレートと枠体が結合されている。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
吸引手段に連通する開口を上面に備えた基台の上面に着脱可能に装着され、被加工物を吸引保持するチャックテーブルであって、 多孔質部材によって円盤状に形成され上面に被加工物を吸引する吸引保持面を備えるとともに下面に該基台の上面に対面する接合面を備えたポーラスプレートと、該ポーラスプレートの外周面を保持する内周面を有する枠体と、を具備し、 該ポーラスプレートの外周面には環状の外周溝が形成され、該枠体の内周面には該環状の外周溝と対応する環状の内周溝が形成されており、 該環状の外周溝と該環状の内周溝にボンド剤が充填され該ポーラスプレートと該枠体が結合されている、 ことを特徴とするチャックテーブル。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ,  H01L 21/683
FI (2件)：
H01L21/304 622H ,  H01L21/68 P
Fターム (17件)：
5F057AA31 ,  5F057BA21 ,  5F057CA14 ,  5F057DA11 ,  5F057FA13 ,  5F131AA02 ,  5F131BA32 ,  5F131CA17 ,  5F131DA14 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131EA05 ,  5F131EA22 ,  5F131EA24 ,  5F131EB03 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79
引用特許：
審査官引用 (8件)
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