特許
J-GLOBAL ID：201403005606195939
光源と画像の安定性を確保するシステム及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-135409
公開番号（公開出願番号）：特開2013-008967
特許番号：特許第5557879号
出願日： 2012年06月15日
公開日（公表日）： 2013年01月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 リソグラフィプロセスの安定性を制御する方法であって、
(a)リソグラフィモデル内の前記リソグラフィプロセスで用いるリソグラフィ装置のベースライン性能を定義するステップであって、第1のベースライン性能を定義する前記リソグラフィモデルの第1のサブモデルは第1の照明条件下で生成され、第2のベースライン性能を定義する前記リソグラフィモデルの第2のサブモデルは第2の照明条件下で生成され、前記第1のサブモデルは1つ以上の照明源瞳特性を含み、前記第2のサブモデルは1つ以上のリソグラフィプロセス応答パラメータを含む、ステップと、
(b)前記第1の照明条件下で前記照明源瞳特性の第1の時間ドリフトデータを測定することで前記第1の照明条件下での前記リソグラフィ装置の照明安定性をモニタし、測定された前記第1の時間ドリフトデータを用いて前記照明源瞳特性を前記第1のベースライン性能の範囲内又は実質的にその近くに維持するステップと、
(c)前記第2の照明条件下で前記リソグラフィプロセス応答パラメータの第2の時間ドリフトデータを測定することで前記第2の照明条件下でのリソグラフィプロセス応答安定性をモニタし、測定された前記第2の時間ドリフトデータを用いて前記リソグラフィプロセス応答パラメータを前記第2のベースライン性能の範囲内又は実質的にその近くに維持するステップと、を含む、方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
H01L 21/30 516 Z
, H01L 21/30 516 C
, G03F 7/20 521
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (7件)
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