特許
J-GLOBAL ID：201003041849733057
極端紫外光源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
宇都宮 正明
, 渡部 温
, 柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-245749
公開番号（公開出願番号）：特開2010-123942
出願日： 2009年10月26日
公開日（公表日）： 2010年06月03日
要約：
【課題】EUV集光ミラーの位置又は姿勢のずれを検出することができる極端紫外光源装置を提供する。【解決手段】この極端紫外光源装置は、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、ターゲット物質をチャンバ内に供給するターゲット供給手段と、ターゲット供給手段によって供給されるターゲット物質にレーザ光を照射することによってプラズマを生成するドライバレーザと、第1の焦点及び第2の焦点を有し、第1の焦点において発生する光を第2の焦点に向けて反射する集光ミラーと、集光ミラーによって反射される光の光路上に配置され、集光ミラーによって反射された光の一部を分岐する分岐光学素子と、分岐光学素子によって分岐された光の光路上に配置され、分岐光学素子によって分岐された光のプロファイルを検出するイメージセンサとを含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ターゲット物質にレーザ光を照射することによりターゲット物質をプラズマ化して極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
ターゲット物質を前記チャンバ内に供給するターゲット供給手段と、
前記ターゲット供給手段によって供給されるターゲット物質にレーザ光を照射することによってプラズマを生成するドライバレーザと、
第1の焦点及び第2の焦点を有し、前記第1の焦点において発生する光を前記第2の焦点に向けて反射する集光ミラーと、
前記集光ミラーによって反射される光の光路上に配置され、前記集光ミラーによって反射された光の一部を分岐する分岐光学素子と、
前記分岐光学素子によって分岐された光の光路上に配置され、前記分岐光学素子によって分岐された光のプロファイルを検出する検出手段と、
を具備する極端紫外光源装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
5F046CB03
, 5F046CB07
, 5F046CB09
, 5F046CB22
, 5F046CB23
, 5F046DA01
, 5F046DB01
, 5F046DB12
, 5F046DC01
, 5F046DC02
, 5F046GA14
, 5F046GB01
, 5F046GC03
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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