赤外線吸収率の測定における被測定物に対する赤外線光の入射方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉太一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-078006
公開番号（公開出願番号）：特開2014-202565
出願日： 2013年04月03日
公開日（公表日）： 2014年10月27日
要約：

【課題】小さな被測定物の測定面でも赤外線吸収率をより正確に測定することができる赤外線吸収率測定における被測定物に対する赤外線光の入射方法を提供する。【課題の解決手段】赤外線光を光学系3,4,5,6を介して被測定物10の測定面に入射し、被測定物10の測定面を透過した透過光、または被測定物の測定面で反射された反射光の光強度を検出器9で測定する一方、赤外線光を被測定物10の測定面に入射しない基準光の光強度を検出器9で測定し、これらの測定結果により、被測定物10の測定面の赤外線吸収率を求める赤外線吸収率測定方法において、赤外線光を被測定物10の測定面とほぼ同一となるようスリット5で調整して被測定物10の測定面に入射する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

赤外線光を光学系を介して被測定物の測定面に入射し、前記被測定物の測定面を透過した透過光、または前記被測定物の測定面で反射された反射光の光強度を測定する一方、前記赤外線光を前記被測定物の測定面に入射しない基準光の光強度を測定し、これらの測定結果により、前記被測定物の測定面の赤外線吸収率を求める赤外線吸収率測定方法において、前記赤外線光を前記被測定物の測定面とほぼ同一となるよう集光して前記被測定物の測定面に入射することを特徴とする赤外線吸収率測定における被測定物に対する赤外線光の入射方法。

IPC (1件)：

G01N 21/356

FI (1件)：

G01N21/35 103

Fターム (12件)：

2G059AA02 , 2G059BB10 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059FF03 , 2G059HH01 , 2G059JJ01 , 2G059JJ14 , 2G059JJ16 , 2G059KK01 , 2G059MM01

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平3-175341
光学式試料分析装置及び光学式試料分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-057626 出願人：スペクトラ-テックインコーポレイテッド
特開昭63-032355

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