特許
J-GLOBAL ID：201403017367573649
化学センサおよび化学センサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡 健司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-249930
公開番号（公開出願番号）：特開2014-098607
出願日： 2012年11月14日
公開日（公表日）： 2014年05月29日
要約：
【課題】検出表面に配向性を付与し、また検出表面の配向制御を行うことができ、従来よりも検出感度を向上させることができる化学センサが望まれていた。【解決手段】本発明に係る化学センサは、導電性の基板層と、検出表面としてのリン酸塩を主成分とする薄膜層と、基板層と薄膜層との間に設けた中間層を備える化学センサであって、中間層のうちの少なくとも1つに酸化亜鉛を主成分とする中間層を備えることを特徴とする。また、本発明に係る化学センサの製造方法は、導電性の基板層上に酸化亜鉛を主成分とする中間層を形成する工程と、中間層上にリン酸塩を主成分とする薄膜層を形成する工程と、薄膜層が形成された複合体を熱処理または焼結処理する工程とを有するこことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
導電性の基板層と、
検出表面としてのリン酸塩を主成分とする薄膜層と、
前記基板層と前記薄膜層との間に設けた中間層を備える化学センサであって、
前記中間層のうちの少なくとも1つに酸化亜鉛を主成分とする中間層を備えることを特徴とする化学センサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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