低変動ロボット

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川守田光紀
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-530870
公開番号（公開出願番号）：特表2014-527314
出願日： 2012年09月14日
公開日（公表日）： 2014年10月09日
要約：

フレームと第1位置センサー,駆動部,チャンバーを備える装置が提供される。フレームは、エンドエフェクタ26と、可動アームを形成する少なくとも二つのリンクとを含む少なくとも三つの部分を有する。エンドエフェクタとリンクとは可動ジョイントで連結される。エンドエフェクタは基板を支持するように構成される。第1位置センサーはフレームにおいて第1ジョイントに近接している。第1位置センサーは、前記部分のうちの二つの相対位置を検知するように構成される。駆動部はフレームに連結され、可動アームを駆動するように構成される。フレームはチャンバー内に配置され、駆動部はチャンバーの壁を貫通している。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

エンドエフェクタと、可動アームを形成する少なくとも二つのリンクとを含む、少なくとも三つの部分を有するフレームであって、前記エンドエフェクタと前記リンクとは複数の可動ジョイントで連結され、前記エンドエフェクタは基板を支持するように構成される、フレームと; 前記フレームにおいて、前記複数の可動ジョイントのうちの第1ジョイントに近接して配され、前記部分のうちの二つの相対位置を検知するように構成される、第1位置センサーと; 前記フレームに連結され、前記可動アームを駆動するように構成される駆動部と; 前記フレームが配置されるチャンバーであって、前記駆動部は該チャンバーの壁を貫通している、チャンバーと; を備える、装置。

IPC (4件)：

H01L 21/677 , B25J 9/06 , B65G 49/06 , B65G 49/07

FI (4件)：

H01L21/68 A , B25J9/06 D , B65G49/06 A , B65G49/07 F

Fターム (42件)：

3C707AS24 , 3C707AS31 , 3C707BS15 , 3C707CY12 , 3C707CY34 , 5F131AA02 , 5F131AA03 , 5F131AA32 , 5F131BB04 , 5F131CA18 , 5F131CA32 , 5F131DB03 , 5F131DB04 , 5F131DB12 , 5F131DB23 , 5F131DB44 , 5F131DB52 , 5F131DB62 , 5F131DB72 , 5F131DB76 , 5F131DB82 , 5F131DB87 , 5F131DB88 , 5F131DB92 , 5F131DB93 , 5F131DB97 , 5F131DB99 , 5F131DD03 , 5F131DD43 , 5F131JA03 , 5F131JA33 , 5F131KA02 , 5F131KA11 , 5F131KA12 , 5F131KA23 , 5F131KA40 , 5F131KA52 , 5F131KB12 , 5F131KB17 , 5F131KB30 , 5F131KB32 , 5F131KB58

引用特許：

審査官引用 (11件)

搬送装置およびそれを用いた露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-193908 出願人：株式会社ニコン
ワーク搬送ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-159430 出願人：株式会社レクザム
ウエハ検出装置及びウエハ搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-282175 出願人：サンクス株式会社

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