多関節搬送装置及びそれを用いた半導体製造装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-226619
公開番号（公開出願番号）：特開2007-038360
出願日： 2005年08月04日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：

【課題】各モータの同期動作を容易に制御できると共に、省配線化及び小型化を実現できる多関節搬送装置を提供する。【解決手段】複数のアーム22・・52が互いに関節を介して回転可能に連結され、前記関節に設置された複数のダイレクトドライブ方式のモータ210・・510を有し、該複数の各モータの駆動により前記各アームを回転させて最後の前記アームに搭載した被搬送体を搬送する多関節搬送装置において、前記各モータの制御に必要な電気信号を光信号に変換して伝達する制御装置111と、前記光信号を電気信号に変換すると共に電気信号を光信号に変換する信号変換器21・・41と、前記制御装置からの前記光信号を前記信号変換器に伝達する光通信手段113と、該信号変換器によって変換された前記電気信号によって前記各モータを駆動すると共に前記モータからの前記電気信号に基づいて前記各モータの駆動を制御する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

複数のアームが互いに関節を介して回転可能に連結され、前記関節に設置された複数のモータを有し、該複数の各モータの駆動により前記各アームを回転させて最後の前記アームに搭載した被搬送体を搬送する多関節搬送装置において、前記各モータの制御に必要な電気信号を光信号に変換して伝達する制御装置と、前記光信号を電気信号に変換すると共に電気信号を光信号に変換する信号変換器と、前記制御装置からの前記光信号を前記信号変換器に伝達する光通信手段と、該信号変換器によって変換された前記電気信号によって前記各モータを駆動すると共に前記モータからの前記電気信号に基づいて前記各モータの駆動を制御することを特徴とする多関節搬送装置。

IPC (4件)：

B25J 19/00 , B25J 9/06 , B65G 49/07 , H01L 21/677

FI (5件)：

B25J19/00 J , B25J9/06 D , B25J19/00 F , B65G49/07 D , H01L21/68 A

Fターム (33件)：

3C007AS05 , 3C007AS24 , 3C007BS15 , 3C007CV07 , 3C007CW07 , 3C007CX01 , 3C007CY02 , 3C007CY05 , 3C007CY06 , 3C007HS28 , 3C007KV13 , 3C007KX10 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA02 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031JA01 , 5F031JA02 , 5F031JA32 , 5F031JA34 , 5F031JA35 , 5F031KA13 , 5F031KA14 , 5F031LA18 , 5F031MA13 , 5F031NA05 , 5F031NA09

引用特許：

出願人引用 (4件)

水平多関節型産業用ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-274738 出願人：タツモ株式会社
多関節型の産業用ロボット及び当該ロボットのアームユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-305704 出願人：日本サーボ株式会社, タツモ株式会社
特開2003-1178775公報

全件表示

審査官引用 (13件)

特開昭60-005644
制御装置に接続される機器の管理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-297975 出願人：ファナック株式会社
特開平3-245204

全件表示

前のページに戻る