圧電アクチュエータおよびそれを備えたインクジェットヘッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：佐野静夫 , 井上温 , 井上靖
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-510928
特許番号：特許第5582251号
出願日： 2012年03月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板に形成された圧力室に配設された振動板を前記圧力室に向けて変形させる圧電アクチュエータであって、前記振動板が前記圧力室の上に位置するようにした状態において、前記振動板上には、下電極、圧電体および上電極が順に積層され、前記圧力室の側壁上方の前記圧電体上の一部には、前記圧力室上方の前記上電極から引き出された上電極引出部が形成され、前記圧電体は、前記上電極引出部の下方において、前記基板における前記圧力室の側壁と前記圧力室との境界面上方の空隙部によって分断されており、前記空隙部上の前記上電極引出部は、前記上電極の積層面に平行な面内で屈曲して形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (2件)：