特許
J-GLOBAL ID：201403033075395737
ナノ粒子の分別装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-062254
公開番号（公開出願番号）：特開2014-185382
出願日： 2013年03月25日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
要約：
【課題】一つの材料から得られた異なる粒径のナノ粒子を分別して捕集することができるナノ粒子の分別装置を提供する。【解決手段】ナノ粒子分別装置1は、直列的に並べられて互いに隔壁5で仕切られた複数の室9と、蒸発されるべき材料4が配設された生成室2と、前記材料4から生成されたナノ粒子8a〜8cを成膜するための基板7が配設された複数の成膜室3a〜3cと、隣り合う前記複数の室9を互いに連通するために前記隔壁5をそれぞれ貫通して設けられた複数の連通管6と、前記生成室2に連通して冷却ガスを導入するためのガス導入管10と、前記複数の室9のうち、前記生成室2から最も遠い位置に配された室9であり且つ前記成膜室3cである高真空室13に連通して真空引きするための真空配管14とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
直列的に並べられて互いに隔壁で仕切られた複数の室と、
蒸発されるべき材料が配設され、前記複数の室のうちの一方の端部に配された室である生成室と、
前記材料から生成されたナノ粒子を成膜するための基板が配設され、前記複数の室のうちの前記生成室を除く室である複数の成膜室と、
隣り合う前記複数の室を互いに連通するために前記隔壁をそれぞれ貫通して設けられた複数の連通管と、
前記生成室に連通して冷却ガスを導入するためのガス導入管と、
前記複数の室のうち、前記生成室から最も遠い位置に配された室である高真空室に連通して真空引きするための真空配管とを備えたことを特徴とするナノ粒子分別装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
4K029BA02
, 4K029BB08
, 4K029DB09
, 4K029DB17
, 4K029HA01
