特許
J-GLOBAL ID：201403033255419642

同期装置及び検査装置

発明者：
鈴木 弘修

鈴木 弘修 について


出願人/特許権者：
レーザーテック株式会社

レーザーテック株式会社 について


代理人 (1件)： 大山 健次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-121692
公開番号（公開出願番号）：特開2014-238360
出願日： 2013年06月10日
公開日（公表日）： 2014年12月18日
要約：
【課題】同一の対物レンズを介して撮像される2種類の画像信号をリアルタイムで同期させることができ、リアルタイムで欠陥検査を行うために好適な同期装置を実現する。【解決手段】本発明の同期装置は、入力した画像信号を、所定の時間期間だけ遅延させる遅延手段(51)と、ステージの走査方向に応じて遅延手段に供給される画像信号を切り換える第1のスイッチ手段(50)と、走査方向に応じて撮像素子から直接出力された画像信号を切り換える第2のスイッチ手段(52)とを有し、第2のスイッチ手段から2つの画像信号が同期して出力する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
第1の走査方向及び第1の走査方向と反対向きの第2の走査方向にジッグザッグ状に移動するステージ上に配置された試料の画像を同一の対物レンズを介して撮像する第1及び第2の撮像素子からそれぞれ出力される第1及び第2の画像信号を同期して出力する同期装置であって、 入力した画像信号を、所定の時間期間だけ遅延させる遅延手段と、 前記遅延手段と前記第1及び第2の撮像素子との間に配置され、ステージが第1の走査方向に移動する期間中第1の撮像素子と遅延手段とを接続し、ステージが第2の走査方向に移動する期間中第2の撮像素子と遅延手段とを接続する第1のスイッチ手段と、 前記第1及び第2の撮像素子にそれぞれ接続した第1及び第2の入力部、前記遅延手段に接続した第3の入力部、並びに前記第1の画像信号を出力する第1の出力部及び第2の画像信号を出力する第2の出力部を有し、ステージが第1の走査方向に移動する期間中第3の入力部と第1の出力部とを接続すると共に第2の入力部と第2の出力部とを接続し、ステージが第2の走査方向に移動する期間中第1の入力部と第1の出力部とを接続すると共に第3の入力部と第2の出力部とを接続する第2のスイッチ手段とを有し、 前記第1及び第2の出力部から第1及び第2の画像信号が同期して出力されることを特徴とする同期装置。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A
Fターム (39件)：
2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065FF02 ,  2F065FF42 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL24 ,  2F065LL46 ,  2F065MM02 ,  2F065NN13 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ11 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BB03 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CC12 ,  2G051DA07 ,  2G051EA04
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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