特許
J-GLOBAL ID：201403034210450855

クロストーク補正係数算出方法およびクロストーク補正係数算出機能を備えた透明膜の膜厚測定装置

発明者：
北川 克一

北川 克一 について


出願人/特許権者：
東レエンジニアリング株式会社

東レエンジニアリング株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-231315
公開番号（公開出願番号）：特開2014-085112
出願日： 2012年10月19日
公開日（公表日）： 2014年05月12日
要約：
【課題】 波長の異なる複数の単色光を出射する照明手段と前記複数の単色光に対する撮像手段を用いた測定系に生じるクロストークを補正するためのクロストーク補正係数を、簡易な装置構成でも得られる方法、および同方法によりクロストーク補正係数を算出する機能を備えた透明膜の膜厚測定装置を提供する。【解決手段】 M個からなる複数の既知波長の単色光を出射する照明手段と、M個の単色光それぞれの波長に対応する分光感度を備えた撮像手段を構成要素として含む光学系のクロストーク補正係数算出方法であり、光学膜厚が既知で、かつその値の異なるM+1個以上の透明膜を対象とした干渉輝度測定値からクロストーク補正係数を算出する【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
M個からなる複数の既知波長の単色光を出射する照明手段と、M個の単色光それぞれの波長に対応する分光感度を備えた撮像手段を構成要素として含む光学系を用い、 M個の前記単色光を測定対象である透明膜に照射して得られる、前記透明膜の表面の反射光と裏面の反射光により生成される干渉輝度値から、前記透明膜の膜厚を求める膜厚測定において、 各単色光の分光感度の間で生じるクロストーク現象の影響を定量化するための、クロストーク補正係数算出方法であり、 光学膜厚が既知で、かつその値の異なるM+1個以上の透明膜を対象とした干渉輝度測定値からクロストーク補正係数を算出することを特徴とするクロストーク補正係数算出方法。
IPC (1件)：
G01B 11/06
FI (1件)：
G01B11/06 G
Fターム (23件)：
2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC02 ,  2F065CC19 ,  2F065CC31 ,  2F065DD03 ,  2F065EE00 ,  2F065FF52 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL22 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU05
引用特許：
審査官引用 (6件)
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