特許
J-GLOBAL ID：201403041069933126

XYθステージ機構

発明者：
吾郷 健二

吾郷 健二 について

, 
佐藤 誠一

佐藤 誠一 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  鈴木 慎吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-142266
公開番号（公開出願番号）：特開2014-006162
出願日： 2012年06月25日
公開日（公表日）： 2014年01月16日
要約：
【課題】小型化が要求されていた。【解決手段】一面内を移動可能とされるステージLと、ステージの位置および姿勢を設定する位置姿勢設定支持手段11,12,13がステージを支持し、 位置姿勢設定支持手段は、ステージ面に直交する駆動軸m1を有する回転駆動源mと、駆動軸に固定されて回動する回転リンク部rm1と、回転リンク部とステージとを接続する接続部r1と、を有するものとされ、 回転リンク部の角度調節によってステージの位置および位置を設定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一面内を移動可能とされるステージを有し、該ステージの面内方向内の位置および姿勢決め制御を可能とするXYθステージ機構であって、 前記ステージの位置および姿勢を設定する位置姿勢設定支持手段が3箇所以上設けられて前記ステージを支持し、 前記位置姿勢設定支持手段は、前記ステージ面に直交する駆動軸を有する回転駆動源と、前記駆動軸に固定されて回動する回転リンク部と、該回転リンク部と前記ステージとを接続する接続部と、を有するものとされ、 前記回転リンク部の角度調節によって前記ステージの位置および位置を設定することを特徴とするXYθステージ機構。
IPC (4件)：
G12B 5/00 ,  B23Q 1/44 ,  B23Q 1/48 ,  H01L 21/68
FI (4件)：
G12B5/00 T ,  B23Q1/44 C ,  B23Q1/48 B ,  H01L21/68 K
Fターム (16件)：
2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB12 ,  2F078CC02 ,  3C048BC02 ,  3C048DD06 ,  3C048DD12 ,  5F131AA03 ,  5F131BA13 ,  5F131CA37 ,  5F131CA38 ,  5F131EA02 ,  5F131EA14 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24
引用特許：
審査官引用 (4件)
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