特許
J-GLOBAL ID：201403049208377064

ウェーハ貼着方法

発明者：
小野 貴司

小野 貴司 について

, 
小野寺 寛

小野寺 寛 について

, 
桑名 一孝

桑名 一孝 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (5件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  菅野 亨 ,  溝口 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-048265
公開番号（公開出願番号）：特開2014-175541
出願日： 2013年03月11日
公開日（公表日）： 2014年09月22日
要約：
【課題】ウェーハが大口径化する場合であっても、ステージ上にシート全面を密着させること。【解決手段】ステージ(62)は、シート(S)の外周領域を保持する第一の保持面(622)と、第一の保持面の内側に設けられた凹部(621)の内底面でシートの内側領域を保持する第二の保持面(623)と、凹部の内周面でシートの下面(S1)と第二の保持面と共に閉空間(628)を形成する側面(624)と、閉空間からエアを吸引する吸引口(626)とを有しており、第二の保持面及びシートの下面の少なくとも一方には微細な凹凸(627)が設けられ、吸引口からのエアの吸引によって第一の保持面に保持されたシートを引き伸ばしつつ第二の保持面に保持させた状態で、微細な凹凸により第二の保持面とシートの下面との間にエアの抜け路を確保する構成にした。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
シートを上面に保持するステージと、該ステージ上に保持されたシート上に液状樹脂を供給する樹脂供給手段と、該シート上に供給された該液状樹脂の上からウェーハを押圧する押圧手段と、該ステージ上からウェーハの搬送を行うウェーハ搬送手段とを少なくとも有し、 該ステージは、該シートを保持するリング形状の第一の保持面と、該第一の保持面に囲繞され該第一の保持面よりも凹んでおり該凹みにウェーハを収容して上面に保持する第二の保持面と、該第一の保持面から該第二の保持面に至る側面と、該第一の保持面に開口した該シートを吸引する第一の吸引口と、少なくとも該第二の保持面もしくは該側面の一方に開口した第二の吸引口と、該第一の吸引口及び該第二の吸引口に連通した負圧生成源と、を備えているウェーハ貼着装置において、該ステージ上に保持された該シートの上面に液状樹脂が供給され、該液状樹脂の上からウェーハを押圧し該シートに該液状樹脂を介してウェーハを貼着するウェーハ貼着方法であって、 該シートの該ステージ側の面及び該ステージの該第二の保持面の少なくともどちらかの表面には微細な凹凸が形成されており、 該シートを該ステージ上に保持する際には、該第二の吸引口から吸引すると該シート及び該ステージ間は当接して該凹凸による隙間が形成され、該シート及び該ステージ間のエアが該隙間から該第二の吸引口へ除去されるとともに該シートが該ステージ上に密着されること、を特徴とするウェーハ貼着方法。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/304 622J
Fターム (22件)：
5F057AA11 ,  5F057BA12 ,  5F057BB03 ,  5F057BB07 ,  5F057BB09 ,  5F057BB12 ,  5F057FA15 ,  5F057FA30 ,  5F131AA02 ,  5F131BA42 ,  5F131BA53 ,  5F131CA06 ,  5F131CA22 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131EA07 ,  5F131EB02 ,  5F131EB54 ,  5F131EC34 ,  5F131EC54 ,  5F131EC62
引用特許：
審査官引用 (6件)
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