特許
J-GLOBAL ID：201403050928401432
多結晶シリコン棒の製造装置および製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
大野 聖二
, 森田 耕司
, 片山 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-255176
公開番号（公開出願番号）：特開2014-101256
出願日： 2012年11月21日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
要約：
【課題】多結晶シリコン棒の育成不良や予定外のヒータ寿命の短縮といった問題を改善すること。【解決手段】ヒータ用電極アダプタ13は、電極結合部分が電極の中心軸の延長線上に位置し、ヒータ保持部が電極の中心軸の延長線上から水平方向にずれた位置に設けられたものが用いられる。このため、逆U字状ヒータ11の両下端部はヒータ用電極アダプタ13に固定された際、逆U字状ヒータ11の下端部の中心軸は電極の中心軸の延長線上とは異なる(オフセット)態様で載置されている。好ましくは、ヒータ用電極アダプタは電極結合部材13aとヒータを保持する保持部材13bを持つ構成とされ、保持部材13bは電極の中心軸の延長線の周りを転回可能とされ、当該転回に伴い、逆U字状ヒータ11の下端部もヒータ用電極12の中心軸の周りを転回することとなるから、反応炉100内での逆U字状のヒータ11の水平方向での配置が可変となる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
シリコン芯線上に多結晶シリコンを気相成長させて多結晶シリコン棒を製造するための装置であって、
前記シリコン芯線を通電可能な温度に加熱するための逆U字状のヒータであって底板に垂直な直胴部を有する2つの柱部と該2つの柱部の上端部同士を連結するブリッジ部とを有するヒータと、該ヒータの両下端部から通電して加熱するための一対のヒータ用電極と、を備え、
前記ヒータ用電極は前記底板を貫通して設けられており、
前記逆U字状ヒータはヒータ用電極アダプタを介して前記ヒータ用電極上に載置されており、
前記逆U字状ヒータの下端部は前記ヒータ用電極の中心軸の延長線上とは異なる位置に中心軸を有する、
ことを特徴とする多結晶シリコン棒の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
4G072AA01
, 4G072BB03
, 4G072BB12
, 4G072GG01
, 4G072GG03
, 4G072GG04
, 4G072HH04
, 4G072JJ01
, 4G072MM01
, 4G072MM21
, 4G072NN01
, 4G072NN14
, 4G072RR04
, 4G072RR11
, 4G072RR21
, 4G072RR28
, 4G072UU01
, 4G072UU02
