特許
J-GLOBAL ID：201403052672810294

基板枚葉式並列処理システム

発明者：
キーグラー,アーサー

キーグラー,アーサー について

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グッドマン,ダニエル,エル

グッドマン,ダニエル,エル について

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グアルナッチャ,デイヴィッド,ジー

グアルナッチャ,デイヴィッド,ジー について

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フィッシャー,フリーマン

フィッシャー,フリーマン について

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ヘインズ,ジョナサン

ヘインズ,ジョナサン について

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アスディガ、 メラ

アスディガ、 メラ について


出願人/特許権者：
ティーイーエル ネックス,インコーポレイテッド

ティーイーエル ネックス,インコーポレイテッド について


代理人 (3件)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦 ,  大貫 進介
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-513801
公開番号（公開出願番号）：特表2014-519209
出願日： 2012年06月04日
公開日（公表日）： 2014年08月07日
要約：
流体中に配列された1つ以上の基板表面を流体処理するためのシステムであって、当該システムが、基板表面に接触することなくこの基板表面を処理するための複数の処理要素を有する、フレームを含む処理セクションと、複数の基板ホルダを有するとともに、処理セクションと別の位置との間で1つ以上の基板をユニットとして搬送するように構成された基板ホルダアッセンブリと、を備えている。これら基板ホルダアッセンブリ及び基板ホルダのそれぞれが、処理セクションフレームに着脱自在に結合されており、基板ホルダアッセンブリ内の各基板ホルダが、少なくとも1つの基板を保持するように構成されている。処理セクションフレームは、アライメント機構を有しており、このアライメント機構は、基板ホルダアッセンブリの各基板ホルダとのインターフェイスを有しており、各基板ホルダと処理セクションフレームとを対応させて結合するときに、処理セクションの所定の機構に対して、各基板ホルダを繰返し可能なアライメント位置に設置するように配置される。
請求項（抜粋）：
流体中に配列された1つ以上の基板表面を流体処理するためのシステムであって、当該システムが、 前記基板表面に接触することなく該基板表面を処理するための複数の処理要素を有する、フレームを含む処理セクションと、 複数の基板ホルダを有するとともに、前記処理セクションと別の位置との間で1つ以上の基板をユニットとして搬送するように構成された基板ホルダアッセンブリであって、該基板ホルダアッセンブリ及び前記基板ホルダのそれぞれが、前記処理セクションフレームに着脱自在に結合するように構成されており、前記基板ホルダアッセンブリ内の各基板ホルダが、少なくとも1つの基板を保持するように構成されている、基板ホルダアッセンブリと、を備えており、 前記処理セクションフレームは、アライメント機構を有しており、該アライメント機構は、該基板ホルダアッセンブリを前記処理セクションフレームに結合する際に、前記アライメント機構が、前記基板ホルダアッセンブリの各基板ホルダとのインターフェイスを有しており、各基板ホルダと前記処理セクションフレームとを対応させて結合するときに、前記処理セクションの所定の機構に対して、各基板ホルダを繰返し可能なアライメント位置に設置するように配置される、 システム。
IPC (6件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/304 ,  C25D 17/06 ,  H01L 21/306
FI (9件)：
H01L21/68 G ,  H01L21/68 A ,  B65G49/07 C ,  H01L21/304 642B ,  C25D17/06 C ,  C25D17/06 H ,  H01L21/306 J ,  H01L21/306 K ,  H01L21/306 R
Fターム (60件)：
5F043DD12 ,  5F043DD13 ,  5F043EE02 ,  5F043EE07 ,  5F043EE35 ,  5F043EE36 ,  5F131AA02 ,  5F131BA05 ,  5F131BA18 ,  5F131BA37 ,  5F131BB03 ,  5F131CA09 ,  5F131CA32 ,  5F131DA05 ,  5F131DA32 ,  5F131DA42 ,  5F131DA43 ,  5F131DA53 ,  5F131DA62 ,  5F131DB03 ,  5F131DB12 ,  5F131DB52 ,  5F131DB57 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB87 ,  5F131DB88 ,  5F131DB92 ,  5F131DB97 ,  5F131EC22 ,  5F131FA02 ,  5F131FA14 ,  5F131FA15 ,  5F131GA03 ,  5F131GA05 ,  5F131GA14 ,  5F131GA27 ,  5F131GA32 ,  5F131GA43 ,  5F131GA53 ,  5F131GA63 ,  5F131HA29 ,  5F131JA08 ,  5F131JA32 ,  5F157AB03 ,  5F157AB34 ,  5F157AC01 ,  5F157AC02 ,  5F157AC03 ,  5F157BB02 ,  5F157BB07 ,  5F157CB04 ,  5F157CB14 ,  5F157CB16 ,  5F157CE59 ,  5F157CF58 ,  5F157DA21 ,  5F157DB02 ,  5F157DB22 ,  5F157DB32
引用特許：
審査官引用 (7件)
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