特許
J-GLOBAL ID：201403062075936185

位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法

発明者：
浅野 俊哉

浅野 俊哉 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (6件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-238257
公開番号（公開出願番号）：特開2014-064025
出願日： 2013年11月18日
公開日（公表日）： 2014年04月10日
要約：
【課題】電磁石と吸引ターゲットとの間のギャップの大きさの変動による位置決め精度の低下を防止する。【解決手段】位置決め装置は、第1部材と第2部材との相対位置を制御するように構成され、前記第1部材に固定された電磁石と、前記電磁石によって吸引されるように前記第2部材に固定された吸引ターゲットと、前記電磁石が発生する磁束値を検出する磁束センサと、前記電磁石と前記吸引ターゲットとの間のギャップの大きさに応じて磁束指令値を補正することによって得られた補正磁束指令値と前記磁束センサによって検出された磁束値との偏差に応じて前記電磁石を駆動する駆動部とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1部材と第2部材との相対位置を制御する位置決め装置であって、 前記第1部材に固定された電磁石と、 前記電磁石によって吸引されるように前記第2部材に固定された吸引ターゲットと、 前記電磁石が発生する磁束値を検出する磁束センサと、 前記電磁石と前記吸引ターゲットとの間のギャップの大きさに応じて前記磁束センサによって検出された磁束値を補正することによって得られた磁束値と磁束指令値との偏差に応じて前記電磁石を駆動する駆動部と、 を備えることを特徴とする位置決め装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
H01L21/30 515G ,  H01L21/30 503A ,  H01L21/68 K
Fターム (31件)：
5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131BA13 ,  5F131BA14 ,  5F131CA70 ,  5F131DB87 ,  5F131DD10 ,  5F131DD43 ,  5F131DD72 ,  5F131EA02 ,  5F131EA22 ,  5F131EA27 ,  5F131KA03 ,  5F131KA10 ,  5F131KA16 ,  5F131KA40 ,  5F131KA44 ,  5F131KA54 ,  5F131KA72 ,  5F131KB12 ,  5F131KB30 ,  5F131KB32 ,  5F131KB58 ,  5F146BA04 ,  5F146BA05 ,  5F146CC01 ,  5F146CC04 ,  5F146CC06 ,  5F146CC16 ,  5F146DB04
引用特許：
審査官引用 (6件)
  • 移動体機構
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-341812   出願人：キヤノン株式会社
  • 位置決め装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-133535   出願人：キヤノン株式会社
  • 電磁石駆動装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-287021   出願人：三菱電機株式会社
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