特許
J-GLOBAL ID：200903002003314535

位置決め装置

発明者：
平田 吉洋

平田 吉洋 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (2件)： 伊東 哲也 ,  齋藤 和則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-337357
公開番号（公開出願番号）：特開2006-147919
出願日： 2004年11月22日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】 電磁石と磁性体部材との間隙に機差があった際も、磁性体部材を対向する電磁石の中心となる位置に配置する。【解決手段】 磁性体部材を有する移動体と、該磁性体部材を挟んで対向するように配置され該移動体に駆動力を与える電磁石と、前記移動体と前記電磁石の相対位置を検出する位置検出手段と、前記電磁石のコイルに流れる電流値を検出する電流検出器とを有する位置決め装置であって、前記移動体と前記電磁石の相対位置をずらして、それぞれの相対位置において前記電磁石に所定の磁力を発生させた際に前記電流検出器によって得られた電流値を用いて、前記電磁石のそれぞれと前記磁性体部材との間隙の差が低減する位置を算出する算出手段を有する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
磁性体部材を有する移動体と、該磁性体部材を挟んで対向するように配置され該移動体に駆動力を与える電磁石と、前記移動体と前記電磁石の相対位置を検出する位置検出手段と、前記電磁石のコイルに流れる電流値を検出する電流検出器とを有する位置決め装置であって、 前記移動体と前記電磁石の相対位置をずらして、それぞれの相対位置において前記電磁石に所定の磁力を発生させた際に前記電流検出器によって得られた電流値を用いて、前記電磁石のそれぞれと前記磁性体部材との間隙の差が低減する位置を算出する算出手段を有することを特徴とする位置決め装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68
FI (3件)：
H01L21/30 503A ,  G03F9/00 H ,  H01L21/68 K
Fターム (18件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031JA02 ,  5F031JA22 ,  5F031JA45 ,  5F031LA04 ,  5F031MA27 ,  5F031MA33 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046CC18 ,  5F046DA07 ,  5F046DB04 ,  5F046DC12
引用特許：
出願人引用 (7件)
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