表面形状測定装置及び方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：渡辺望稔 , 三和晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-133478
公開番号（公開出願番号）：特開2013-257219
出願日： 2012年06月13日
公開日（公表日）： 2013年12月26日
要約：

【課題】被検物の表面形状を容易に且つ高精度に測定することができる被検体の表面形状測定装置を提供する。【解決手段】被検物Sに対して光源部12から照明光が照射され、試料Sの透過光により撮像部14で被検物Sのカラー画像が取得され、このカラー画像に基づき画像解析部18で所定色の濃度ヒストグラムが作成され、判定部20で濃度ヒストグラムから被検物Sの表面形状が解析される。更に、こうして作成された濃度ヒストグラムが既知である基準の被検物の基準となるヒストグラムと比較されて、被検物Sの表面形状が解析される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検物に照明光を照射する光源部と、前記光源部から照射された照明光に対する前記被検物の透過光により前記被検物の画像を取得する撮像部と、前記撮像部で取得された前記被検物の画像から濃度ヒストグラムを作成すると共に作成された濃度ヒストグラムに基づいて前記被検物の表面形状を解析する表面形状解析部とを備えたことを特徴とする表面形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B11/24 K

Fターム (17件)：

2F065AA49 , 2F065AA51 , 2F065BB12 , 2F065BB26 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065FF48 , 2F065GG24 , 2F065HH15 , 2F065JJ26 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ31 , 2F065QQ41 , 2F065QQ42 , 2F065QQ43 , 2F065RR06

引用特許：

審査官引用 (9件)

被測定物の形状、ガラス内部にある泡の形状およびガラスの欠陥の度合の評価方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-101606 出願人：旭硝子株式会社
半透明物体の表面特徴を検出する方法及び装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-515281 出願人：サンキストグロワーズインコーポレイテッド
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公報種別：公開公報出願番号：特願平6-129968 出願人：朝日食品工業株式会社

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