特許

J-GLOBAL ID：201403069544882460

反射型投影光学装置

発明者： 豊田 光紀
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学
代理人 (4件)： 特許業務法人 英知国際特許事務所 ,  特許業務法人篠原国際特許事務所 ,  篠原 泰司 ,  藤中 雅之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-152742
公開番号（公開出願番号）：特開2010-079257
特許番号：特許第5489034号
出願日： 2009年06月26日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 試料面に向けられた凹面鏡と該凹面鏡に対向して配置された凸面鏡とを組み合わせてなる対物光学系に、結像倍率を増大させるため対向配置された凹面鏡と凸面鏡とを組み合わせてなるアフォカル反射光学系を結合してなる反射型投影光学装置。

IPC (2件)：

G02B 17/06 ( 200 6.01) ,  G02B 27/18 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G02B 17/06 ,  G02B 27/18 Z

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 投影光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-086418   出願人：国立大学法人東北大学
• ひとみオブスキュレーションを伴う対物鏡
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-521424   出願人：カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー
• 遮光瞳を有する高開口率対物光学系
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-547354   出願人：カールツァイスエスエムテーアーゲー
• X線顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-219306   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 結像光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-006616   出願人：カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー
• 特開平4-000407
  

審査官引用 (6件)

• 投影光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-086418   出願人：国立大学法人東北大学
• X線顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-219306   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• ひとみオブスキュレーションを伴う対物鏡
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-521424   出願人：カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー
• 結像光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-006616   出願人：カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー
• 遮光瞳を有する高開口率対物光学系
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-547354   出願人：カールツァイスエスエムテーアーゲー
• 特開平4-000407