特許
J-GLOBAL ID：201403077146008567

露光装置

発明者：
奥山 隆志

奥山 隆志 について


出願人/特許権者：
株式会社オーク製作所

株式会社オーク製作所 について


代理人 (2件)： 松浦 孝 ,  小倉 洋樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-033469
公開番号（公開出願番号）：特開2014-165266
出願日： 2013年02月22日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
要約：
【課題】DMD等を備えたマスクレス露光装置において、正確にパターン形成位置の検出することができる露光装置を提供する。【解決手段】複数のフォトセンサP1〜PNを走査方向に沿って等間隔に配列させた位置検出部をステージに設置し、走査方向に沿って等間隔で並んだバー状パターンL1〜LMから成る位置検出パターン列LPを、走査時に基板へ投影する。そして、互いに隣接するフォトセンサの受光量が等しくなる位置を露光位置として時系列に検出し、検出される(N-1)×M個の露光位置に基づき、基準位置を補正する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
複数の光変調素子をマトリクス状に配列した光変調素子アレイと、 前記光変調素子アレイによる露光エリアを被描画体に対して相対移動させる走査部と、 前記露光エリアが通過するように配置される複数のフォトセンサを有する位置検出部と、 前記複数の光変調素子を制御し、パターン光を前記被描画体に投影する露光動作制御部とを備え、 前記露光動作制御部が、所定間隔で走査方向に並び、各パターン幅が、フォトセンサ幅よりも小さく、フォトセンサ間隔よりも大きい位置検出パターン列の光を投影し、 前記位置検出部が、1つの位置検出パターンの光が隣り合うフォトセンサを通過する間にその隣り合うフォトセンサから出力される輝度信号のレベルが等しくなる露光位置を検出し、位置検出パターン列の光の通過に伴って一連の露光位置を時系列に検出することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 9/00
FI (3件)：
H01L21/30 529 ,  G03F9/00 Z ,  H01L21/30 520Z
Fターム (5件)：
2H097KA15 ,  2H097KA20 ,  5F146BA06 ,  5F146CB34 ,  5F146DA44
引用特許：
審査官引用 (6件)
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