圧電体積層体、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子および圧電アクチュエータ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 宮坂一彦 , 渡辺和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-187080
公開番号（公開出願番号）：特開2014-033210
出願日： 2013年09月10日
公開日（公表日）： 2014年02月20日
要約：

【課題】基体上にニオブ酸カリウムナトリウムからなる圧電体層が形成された圧電体積層体を提供する。【解決手段】圧電体積層体100は、基体1と、前記基体1の上方に形成された、ニオブ酸カリウムナトリウムからなる第1圧電体層3と、を含む。前記第1圧電体層3は、組成式(KaNa1-a)xNbO3で表され、該組成式において、0.1<a<1であり、1≦x≦1.2であることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基体と、前記基体の上方に形成された、ニオブ酸カリウムナトリウムからなる第1圧電体層と、を含む、圧電体積層体。

IPC (13件)：

H01L 41/187 , H01L 41/319 , H01L 41/047 , H01L 41/317 , H01L 41/318 , H01L 41/43 , H03H 9/25 , H03H 9/145 , H03H 9/64 , H03H 9/17 , H01L 21/314 , B41J 2/055 , B41J 2/045

FI (12件)：

H01L41/187 , H01L41/319 , H01L41/047 , H01L41/317 , H01L41/318 , H01L41/43 , H03H9/25 C , H03H9/145 C , H03H9/64 Z , H03H9/17 F , H01L21/314 A , B41J3/04 103A

Fターム (27件)：

2C057AF37 , 2C057AG44 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 5F058BA06 , 5F058BA11 , 5F058BA20 , 5F058BC03 , 5F058BC04 , 5F058BF46 , 5F058BH01 , 5F058BJ04 , 5J097AA21 , 5J097BB02 , 5J097FF01 , 5J097HA03 , 5J097KK01 , 5J097KK03 , 5J108AA07 , 5J108BB05 , 5J108CC04 , 5J108CC11 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108KK07

引用特許：

審査官引用 (5件)

弾性表面波素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-080550 出願人：ヤマハ株式会社
圧電セラミックスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-034904 出願人：株式会社豊田中央研究所, 株式会社デンソー
圧電アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-228397 出願人：株式会社デンソー, 株式会社豊田中央研究所

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