特許
J-GLOBAL ID:201403080619015540
金フリー・オーミックコンタクト
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
小野 新次郎
, 小林 泰
, 竹内 茂雄
, 山本 修
, 夫馬 直樹
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-513545
公開番号(公開出願番号):特表2014-515562
出願日: 2012年05月18日
公開日(公表日): 2014年06月30日
要約:
半導体と、半導体とオーム性接触する金フリー電気伝導構造体と、シリコンの層によって分離された一対の電気伝導層と、を有する半導体構造体を提供する。構造体は、半導体と接触して配置された耐熱性金属層を包含し、シリコンの層によって分離される電気伝導層の対のうちの一方は、耐熱性金属層である。シリコンの第2層は、一対の電気伝導層の一組の第2の一方に配置され、シリコンの第2層上の第3の電気的に貢献する層を包含する。ある実施形態では、半導体はIII-V材料を含む。
請求項(抜粋):
III-V半導体と
半導体とオーム性接触する金フリー電気伝導構造体と
を有するデバイス。
IPC (5件):
H01L 29/812
, H01L 21/338
, H01L 29/778
, H01L 21/28
, H01L 29/417
FI (4件):
H01L29/80 F
, H01L29/80 H
, H01L21/28 301B
, H01L29/50 J
Fターム (18件):
4M104AA04
, 4M104AA07
, 4M104BB14
, 4M104BB25
, 4M104CC01
, 4M104DD35
, 4M104DD84
, 4M104FF13
, 4M104GG12
, 4M104GG18
, 4M104HH20
, 5F102GB01
, 5F102GC01
, 5F102GD01
, 5F102GK04
, 5F102GL04
, 5F102GM04
, 5F102GQ01
引用特許:
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