特許
J-GLOBAL ID：201403083584144660
集積型薄膜太陽電池の溝加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鹿島 義雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-214148
公開番号（公開出願番号）：特開2013-042153
特許番号：特許第5351998号
出願日： 2012年09月27日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】集積型薄膜太陽電池基板のスクライブ予定ラインに沿って、溝加工ツールの刃先で押圧しながら、前記太陽電池基板と溝加工ツールを相対的に移動させて前記太陽電池の上にスクライブラインを形成する集積型薄膜太陽電池の溝加工方法であって、
前記溝加工ツールが、棒状のボディと、ボディの先端部に形成された刃先領域とからなり、刃先領域は細長く延びる長方形の底面と、底面の短手方向の端辺から立ち上がる前面並びに後面と、底面の長手方向の端辺から直角に立ち上がって互いに平行な一対の面をなす左、右側面とからなり、前後面のいずれか片面と底面とによって形成される角部が刃先をなし、
長方形をなす底面の長軸方向が前記移動方向に沿って配置され、刃先領域の前面若しくは後面が太陽電池の被加工面との間になす角度が50度〜80度の範囲内で進行方向側に傾斜させて溝加工を行うことを特徴とする集積型薄膜太陽電池の溝加工方法。
IPC (4件)：
H01L 31/04 ( 200 6.01)
, B23D 13/00 ( 200 6.01)
, B28D 5/04 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
H01L 31/04 S
, B23D 13/00
, B28D 5/04 A
, H01L 21/304 601 Z
