特許
J-GLOBAL ID:201403087484502696
電力半導体素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
岩瀬 吉和
, 小野 誠
, 金山 賢教
, 重森 一輝
, 市川 英彦
, 金高 寿裕
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-082669
公開番号(公開出願番号):特開2014-096559
出願日: 2013年04月11日
公開日(公表日): 2014年05月22日
要約:
【課題】電力半導体素子において、優れたDC特性を示すと同時に、優れたRF特性を有するようにする。【解決手段】電力半導体素子100Aは、基板110と、該基板110上に設けられた第1の半導体層120と、該第1の半導体層120上に設けられた第2の半導体層130と、第2の半導体層130上に設けられ、第2の半導体層130の一部を露出させる第3の半導体層150と、該第3の半導体層150を通して露出された第2の半導体層130上に設けられたゲート電極163と、第3の半導体層150上においてゲート電極163を挟んで互いに離れて設けられたソース電極161及びドレイン電極162と、を備え、ゲート電極163とドレイン電極162との間の第3の半導体層150に電気的分離領域150aが設けられている。【選択図】図3
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板上の第1の半導体層と、
前記第1の半導体層上の第2の半導体層と、
前記第2の半導体層上に設けられ、前記第2の半導体層の一部を露出させる第3の半導体層と、
前記第3の半導体層を通して露出された前記第2の半導体層上のゲート電極と、
前記第3の半導体層上において前記ゲート電極を挟んで互いに離れて設けられたソース電極及びドレイン電極と、
を備え、
前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間の第3の半導体層に電気的分離領域が設けられている、電力半導体素子。
IPC (3件):
H01L 29/812
, H01L 29/778
, H01L 21/338
FI (1件):
Fターム (31件):
5F102GB01
, 5F102GC01
, 5F102GD01
, 5F102GD10
, 5F102GJ02
, 5F102GJ03
, 5F102GJ04
, 5F102GJ05
, 5F102GJ10
, 5F102GK04
, 5F102GK08
, 5F102GL04
, 5F102GL05
, 5F102GM04
, 5F102GM05
, 5F102GM06
, 5F102GM08
, 5F102GN04
, 5F102GN05
, 5F102GN08
, 5F102GQ01
, 5F102GR04
, 5F102GR07
, 5F102GR09
, 5F102GS01
, 5F102GS04
, 5F102GT01
, 5F102GT03
, 5F102GV07
, 5F102GV08
, 5F102HC07
引用特許: