引張り応力の測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：熊倉禎男 , 弟子丸健 , 井野砂里 , 松下満 , 倉澤伊知郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-133538
公開番号（公開出願番号）：特開2012-168201
特許番号：特許第5563019号
出願日： 2012年06月13日
公開日（公表日）： 2012年09月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】引張り試験機においてデポジットを基板から引き剥がすのに必要な引張り力を測定する方法であって、デポジットを掴む一体形ジョーを用意する段階を有し、前記ジョーは、横部材を備えた一体の実質的に「H」の形をした部材を含み、前記ジョーは、2つの剛性部材を有しており、前記横部材は、前記2つの剛性部材を互いに連結しており、前記剛性部材は各々、第1の端部及びこれと反対側に配置された第2の端部を有しており、前記ジョーは、開き状態及び閉じ状態を有すると共に引張り方向を有し、前記引張り試験機で支持された片持ちビームの自由端部に前記ジョーの前記横部材を取り付ける段階を有し、前記ビームには、前記ビームの曲げを加えられた力に関連づける歪ゲージが設けられており、前記引張り試験機で支持されたアクチュエータを用意する段階を有し、前記剛性部材の第1の端部は、引張り力を加えることにより前記ジョーを閉じるために、引張り部材によって前記アクチュエータに取付けられていて、デポジットを前記ジョー内に位置決めする段階を有し、前記ジョーは、前記開き状態にあり、前記アクチュエータを作動させて前記引張り部材に引張り力を加え、前記剛性部材の第1の端部を互いに遠ざける段階を有し、前記剛性部材の第1の端部を互いに遠ざける移動により、前記第2の端部は互いに向かって移動して前記ジョーを前記デポジットの周りで閉じるようになっており、前記ビームを介して漸増する引張り力を前記引張り方向に加える段階を有し、前記歪ゲージの電気的出力を記録する段階を有する、ことを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G01N 3/04 ( 200 6.01) , G01N 3/08 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01N 3/04 A , G01N 3/08

引用特許：

出願人引用 (8件)

試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-355215 出願人：デイジプレシジョンインダストリーズリミテッド
試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-331663 出願人：デイジプレシジョンインダストリーズリミテッド
特許第2509834号

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審査官引用 (8件)

試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-355215 出願人：デイジプレシジョンインダストリーズリミテッド
試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-331663 出願人：デイジプレシジョンインダストリーズリミテッド
特許第2509834号

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