誘電体及びこの誘電体を用いた静電チャック

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-168286
公開番号（公開出願番号）：特開2014-027207
出願日： 2012年07月30日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
要約：

【課題】パーティクルの発生を抑制しつつ、充分な静電吸着力を有する誘電体及びこの誘電体を用いた静電チャックを提供する。【解決手段】表面に複数の突起部を有し、この突起部を有する突起部内領域の算術平均粗さRaと、前記突起部間の突起部外領域の算術平均粗さRaが共に0.5μm以下であり、前記突起部の、頂部から側部への外形線が曲線であり、前記突起部の高さが0.2〜50μmであり、絶縁電気耐圧が10MV/m以上である誘電体。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

表面に複数の突起部を有し、この突起部を有する突起部内領域の算術平均粗さRaと、前記突起部間の突起部外領域の算術平均粗さRaが共に0.5μm以下であり、前記突起部の、頂部から側部への外形線が曲線であり、前記突起部の高さが0.2〜50μmであり、絶縁電気耐圧が10MV/m以上である誘電体。

IPC (2件)：

H01L 21/683 , H02N 13/00

FI (2件)：

H01L21/68 R , H02N13/00 D

Fターム (8件)：

5F131AA02 , 5F131CA15 , 5F131CA68 , 5F131EB18 , 5F131EB25 , 5F131EB54 , 5F131EB78 , 5F131EB79

引用特許：

審査官引用 (6件)

基板載置装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-129936 出願人：株式会社日本セラテック
吸着固定装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-182772 出願人：住友大阪セメント株式会社
特開昭62-157752

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