表面構造およびその製造方法,ならびに表面構造を組み込む,静電ウエハクランプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：竹内澄夫 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-529010
公開番号（公開出願番号）：特表2003-511856
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2003年03月25日
要約：

【要約】【解決手段】ワークピースと接触する表面構造が,支持要素に接着される柔軟な層,および柔軟な層上のコーティングとを含む。コーティングはその表面上にリプルを有する。柔軟な層は熱伝導性を有していてもよい。表面上のリプルはワークピースからの熱移動を高め,パーティクルの低発生および低いパーティクルの特有の汚染により特徴づけられる。コーティング上のリプルは,柔軟な層を膨張し,膨張した柔軟な層にコーティングを適用し,柔軟な層を収縮することにより形成され得る。一実施例において,表面構造は静電ウエハクランプにおいて利用される。表面構造は,ワークピースと表面構造との間に導入する低圧の冷却ガスとともに使用するとき,真空処理装置において,高効率な熱移動を提供する。

請求項（抜粋）：

ワークピースと接触するための表面構造であって, 支持要素に接着される柔軟な層と, 該柔軟な層上のコーティングと,を含み, 前記コーティングがその表面上にリプルを有する,ところの表面構造。

IPC (4件)：

H01L 21/68 , H01J 37/317 , H01L 21/265 603 , H01L 21/3065

FI (5件)：

H01L 21/68 N , H01L 21/68 R , H01J 37/317 B , H01L 21/265 603 D , H01L 21/302 C

Fターム (18件)：

5C034CC07 , 5C034CC11 , 5F004BA04 , 5F004BB17 , 5F031CA02 , 5F031GA32 , 5F031GA33 , 5F031GA37 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA08 , 5F031HA10 , 5F031HA18 , 5F031HA19 , 5F031HA23 , 5F031HA39 , 5F031MA31 , 5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (19件)

特開平2-003303
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-146520 出願人：信越化学工業株式会社
特開平2-005355

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