特許
J-GLOBAL ID：201403092985615648
ドレッシング方法、ドレッシング条件の決定方法、ドレッシング条件決定プログラム、および研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
渡邉 勇
, 小杉 良二
, 廣澤 哲也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-247450
公開番号（公開出願番号）：特開2010-076049
特許番号：特許第5415735号
出願日： 2008年09月26日
公開日（公表日）： 2010年04月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 研磨部材表面でのダイヤモンドドレッサの摺動距離分布をシミュレーションすることにより決定されるドレッシング条件で前記研磨部材をドレッシングするドレッシング方法であって、
前記シミュレーションが、前記ダイヤモンドドレッサ表面に配置されたダイヤモンド粒子の前記研磨部材への食い込み深さが大きい所では前記ダイヤモンドドレッサの摺動距離が大きくなるように、前記食い込み深さが小さい所では前記摺動距離が小さくなるように補正された摺動距離を計算する工程を含むシミュレーションであることを特徴とするドレッシング方法。
IPC (4件)：
B24B 37/00 ( 201 2.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B24B 53/02 ( 201 2.01)
, B24B 53/00 ( 200 6.01)
B24B 37/00 A
, H01L 21/304 622 M
, B24B 53/02
, B24B 53/00 J
