特許
J-GLOBAL ID：201403093482299109

基板反転装置、および、基板処理装置

発明者：
篠原 敬

篠原 敬 について

, 
渋川 潤

渋川 潤 について

, 
加藤 洋

加藤 洋 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-135999
公開番号（公開出願番号）：特開2014-003080
出願日： 2012年06月15日
公開日（公表日）： 2014年01月09日
要約：
【課題】一度に複数枚の基板を適切に反転させることができる技術を提供する。【解決手段】基板反転装置100は、複数の基板Wを、水平姿勢で上下方向に間隔をあけて積層された状態で支持する支持機構70と、支持機構70にて支持される複数の基板Wのそれぞれを挟持して一度に反転させる挟持反転機構80とを備える。支持機構70において、基板Wを支持する支持部材74は、上下方向から見て基板Wの中心から遠ざかりつつ下方に移動されて、支持位置から待避位置に移動される。一方、挟持反転機構80において、基板Wを挟持する挟持部材83は、挟持部材駆動部によって離間位置から接近位置まで移動され、当該接近位置で弾性部材によって基板の側面に向けて弾性付勢される。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
基板を反転させる基板反転装置であって、 複数の基板を、水平姿勢で上下方向に間隔をあけて積層された状態で支持する支持機構と、 前記支持機構にて支持される前記複数の基板のそれぞれを挟持して、前記複数の基板を一度に反転させる挟持反転機構と、 を備え、 前記挟持反転機構が、 前記複数の基板のそれぞれを、両端縁部から挟持する一対の挟持部材と、 前記一対の挟持部材のそれぞれを、当該挟持部材の一部が基板の側面に近接または当接する接近位置と、前記挟持部材が前記側面から離間した離間位置との間で移動させる挟持部材駆動部と、 前記接近位置に配置されている前記挟持部材を、前記基板の側面に向けて弾性付勢する弾性部材と、 を備え、 前記支持機構が、 前記複数の基板のそれぞれを、その下面側から支持する複数の支持部材と、 前記複数の支持部材のそれぞれを、当該支持部材の一部が基板の下面に当接する支持位置と、前記支持部材が前記下面から離間した待避位置との間で移動させる支持部材駆動部と、 を備え、 前記支持部材駆動部が、 前記複数の支持部材のそれぞれを、上下方向から見て前記基板の中心から遠ざけつつ下方に移動させて、当該支持部材を前記支持位置から前記待避位置に移動させる、 基板反転装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/304
FI (3件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/304 648B ,  H01L21/304 648G
Fターム (51件)：
5F131AA02 ,  5F131BA37 ,  5F131BB02 ,  5F131CA09 ,  5F131DA05 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DA62 ,  5F131DB02 ,  5F131DB52 ,  5F131DB58 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DB82 ,  5F131DB88 ,  5F131DB97 ,  5F131DC04 ,  5F131DD03 ,  5F131DD43 ,  5F131DD94 ,  5F131EA06 ,  5F131EA24 ,  5F131EB01 ,  5F131EB32 ,  5F131GA03 ,  5F131GA14 ,  5F131GA19 ,  5F131GB03 ,  5F131GB12 ,  5F131GB22 ,  5F131HA02 ,  5F131KA12 ,  5F131KA13 ,  5F131KA44 ,  5F131KA47 ,  5F131KA54 ,  5F131KA72 ,  5F131KB32 ,  5F131KB53 ,  5F131KB58 ,  5F157AB03 ,  5F157AB14 ,  5F157AB33 ,  5F157AB44 ,  5F157CD29 ,  5F157CF42 ,  5F157DB02 ,  5F157DB46
引用特許：
審査官引用 (6件)
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