インプリント装置および物品の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：大塚康徳 , 高柳司郎 , 大塚康弘 , 木村秀二 , 下山治 , 永川行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-104519
公開番号（公開出願番号）：特開2014-225582
出願日： 2013年05月16日
公開日（公表日）： 2014年12月04日
要約：

【課題】パーティクルが基板上に付着することを防止する上で有利なインプリント装置を提供する。【解決手段】モールドと基板上のインプリント材とを接触させることで前記基板上にパターンを形成するインプリント装置は、前記基板を保持する保持面を有する基板ステージと、前記モールドを保持するモールド保持部と、前記モールド保持部の側面を取り囲む部分を含むダクトを有し、前記モールド保持部の周辺における気体を前記部分と前記モールド保持部の側面との間から排出する排気部と、基板面と対向する面を有し、前記排気部による前記気体の排出に伴って前記ダクトの外側から移動してくるパーティクルが付着するように前記部分と前記保持面との間に配置された部材と、を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

モールドと基板上のインプリント材とを接触させることで前記基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、前記基板を保持する保持面を有する基板ステージと、前記モールドを保持するモールド保持部と、前記モールド保持部の側面を取り囲む部分を含むダクトを有し、前記モールド保持部の周辺における気体を前記部分と前記モールド保持部の側面との間から排出する排気部と、基板面と対向する面を有し、前記排気部による前記気体の排出に伴って前記ダクトの外側から移動してくるパーティクルが付着するように前記部分と前記保持面との間に配置された部材と、を含む、ことを特徴とするインプリント装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 , B29C 59/02

FI (3件)：

H01L21/30 502D , G03F7/20 501 , B29C59/02 Z

Fターム (19件)：

2H097BA04 , 2H097GA17 , 2H097LA10 , 4F209AA44 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AH38 , 4F209AM25 , 4F209AM32 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PQ11 , 4F209PQ20 , 5F146AA22 , 5F146AA31 , 5F146DA27

引用特許：

審査官引用 (5件)

インプリント・リソグラフィ・ツールのその場クリーニング
公報種別：公表公報出願番号：特願2011-530041 出願人：モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
インプリントリソグラフィ装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-162398 出願人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
リソグラフィ装置及びデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-202724 出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ

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