インプリント・リソグラフィ・ツールのその場クリーニング

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山川政樹 , 山川茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-530041
公開番号（公開出願番号）：特表2012-504865
出願日： 2009年09月23日
公開日（公表日）： 2012年02月23日
要約：

インプリント・リソグラフィ・システムが、テンプレートと基板との間に配置された材料を固化するためのエネルギー源を設けることができる。さらに、エネルギー源及び/又は付加的なエネルギー源を用いて、テンプレート及び/又は基板から汚染物質をクリーニングすることができる。

請求項（抜粋）：

インプリント・リソグラフィ基板を受け入れるように構成された基板チャックと、インプリント・リソグラフィ・テンプレートを受け入れるように構成され、前記基板チャックに動作可能に結合されたテンプレート・チャックと、前記インプリント・リソグラフィ・システムの一部をクリーニングするように配置された真空紫外線放射源と、を含むことを特徴とするインプリント・リソグラフィ・システム。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , B29C 59/02

FI (2件)：

H01L21/30 502D , B29C59/02 Z

Fターム (15件)：

4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AH73 , 4F209AM10 , 4F209AM28 , 4F209AM30 , 4F209AR02 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PN06 , 4F209PN07 , 4F209PN09 , 4F209PN13 , 5F146AA32

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開昭59-161824
微細形状転写方法および微細形状転写装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-028945 出願人：松下電器産業株式会社
リソグラフィ装置、クリーニング・システム、及びリソグラフィ装置の部品から、その場で汚染物を取り除くクリーニング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-318812 出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ

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