特許
J-GLOBAL ID：201403099990516946
貼合デバイスの製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 英知国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-509968
特許番号：特許第5523646号
出願日： 2013年12月04日
要約：
【要約】 変圧室や貫通孔と受け渡し部材との間にシール部材を用いることなく受け渡し部材を無接触で且つ無制限に移動可能なシール構造を提供する。
変圧室1へのワーク搬入時には、制御部7で閉鎖部材6が開動して変圧室1の貫通孔12を開口させることにより、受け渡し部材5が移動可能になって、第一ワークW1又は第二ワークW2のいずれか一方か若しくは両方を受け渡し部材5で受け取るとともに、受け渡し部材5から第一保持部材2又は第二保持部材3のいずれか一方か若しくは両方に受け渡す。その後は、制御部7で変圧室1の貫通孔12から受け渡し部材5を抜き出してから、閉鎖部材6が閉動して貫通孔12を気密状に閉鎖させることにより、変圧室1が高度な真空状態になるまで減圧可能になって、第一ワークW1と第二ワークW2が貼り合わされる。
請求項（抜粋）：
【請求項1】 変圧室に搬入された第一ワークと第二ワークを第一保持部材と第二保持部材にそれぞれ受け渡し、減圧された前記変圧室で前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方が相対的に接近移動して前記第一ワークと前記第二ワークを貼り合わせる貼合デバイスの製造装置であって、
前記第一ワーク及び前記第二ワークが出し入れ自在に収容される前記変圧室と、
前記変圧室にワーク貼り合わせ方向へ互いに対向するように設けられる前記第一保持部材及び前記第二保持部材と、
前記第一保持部材又は前記第二保持部材のいずれか一方か若しくは両方を前記ワーク貼り合わせ方向へ相対的に接近或いは離隔するように移動させる貼り合わせ用駆動部と、
前記変圧室に設けられる貫通孔を通って前記ワーク貼り合わせ方向へ移動自在に設けられるワーク受け渡し用の受け渡し部材と、
前記変圧室の前記貫通孔を気密状に開閉するように移動自在に設けられる閉鎖部材と、
前記貼り合わせ用駆動部と前記受け渡し部材の受け渡し用駆動部及び前記閉鎖部材の閉鎖用駆動部をそれぞれ作動制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、ワーク搬入時において、前記貫通孔が開口するように前記閉鎖部材を開動させるとともに、前記受け渡し部材をワーク受け渡しのために移動させ、ワーク貼り合わせ時において、前記貫通孔から前記受け渡し部材を抜き出し、前記貫通孔が気密状に閉鎖されるように前記閉鎖部材を閉動させることを特徴とする貼合デバイスの製造装置。
IPC (3件)：
G09F 9/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
G09F 9/00 338
, H01L 21/02 B
, H01L 21/68 A
