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J-GLOBAL ID：201502200809805939   整理番号：15A1278962

金型への応用を想定したHIPIMS膜の機械的特性評価

著者 (6件)： 寺西義一 (東京都産業技術研究セ) ,  近藤ゆりこ (東京都産業技術研究セ) ,  長坂浩志 (東京都産業技術研究セ) ,  渡部友太郎 (東京都産業技術研究セ) ,  森河和雄 (東京都産業技術研究セ) ,  清水徹英 (首都大学東京)
資料名： 東京都立産業技術研究センター研究報告  (Bulletin of Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)
号： 10  ページ： 76-77  発行年： 2015年09月25日 
JST資料番号： S0759C  ISSN： 1881-8676  CODEN： KHCDBB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 金型寿命を延ばすために,金型表面に硬質膜を成膜する場合が多く,新しいた硬質皮膜形成技術と高出力インパルスマグネトロンスパッタリング(High Power Impulse Magnetron Sputtering:HIPIMS)が注目されている。本稿では,HIPIMS成膜法により形成したTiAlN膜について,マイクロレベルの精密金型への応用を想定して,実機を模してスクラッチによる密音性試験,摩擦摩耗試験による測定などを行い,従来の直流マグネトロンスパッタリング(DCMS)成膜法と比較して,その特性を検証した。検証により以下のことが明らかになった。従来のDCMS膜に対して,HIPIMS膜は密着性,耐久性も高いことが分かった。また,二乗平均平方根粗さでは約1割,最大高さ粗さでは約2割平滑性が向上し,硬度は約1.4倍に向上することが可能となった。

シソーラス用語： 金型 ,  *寿命延長 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *密着性 ,  *耐久性 ,  *平滑度 ,  硬度 ,  表面粗さ
準シソーラス用語： スクラッチ ,  二乗平均平方根 ,  *機械的特性評価 ,  *硬質皮膜 ,  硬質膜 ,  *成膜 ,  *精密金型 ,  直流マグネトロンスパッタリング ,  摩擦摩耗試験機

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  表面硬化熱処理  (WC03030E)

引用文献 (5件)：

• Sarakinos, K., Alami, J., Konstantinidis, S.: "High power pulsed magnetron sputtering: A review on scientific and engineering state of the art", Surface and Coatings Technology, Vol.204, pp.1661-1684 (2010)
• 清水徹英:「HiPIMS技術とドライコーティングへの適用」, 月刊トライボロジーNo.308, pp.1-4(2013)
• 渡部友太郎:「高出力インパルスマグネトロンスパッタリング法」, プラスチックス, 第65巻, 第12号, pp.17-21(2014)
• Alami, J., Holz, S., Sarakinos, K.: "High power pulsed magnetron sputtering: Fundamentals and applications", Journal of Alloys and Compounds, Vol.483, pp.530-534 (2009)
• Lattemann, M., Helmersson, U., Greene, J.E. : "Fully dense, non-faceted 111-textured high power impulse magnetron sputtering TiN films grown in the absence of substrate heating and bias", Thin Solid Films, Vol.518, pp.5978-5980 (2010)

タイトルに関連する用語 (5件)： 金型 ,  応用 ,  想定 ,  HiPIMS ,  機械的特性評価