YAMAMOTO Hiroki について
ISIR, Osaka Univ., Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN について
SEKI Toshio について
Dep. of Nuclear Engineering, Kyoto Univ., Kyoto 611-0011, JPN について
MATSUO Jiro について
Quantum Sci. and Engineering Center, Kyoto Univ., Kyoto 611-0011, JPN について
KOIKE Kunihiko について
Iwatani Corp., Hyogo 661-0965, JPN について
KOZAWA Takahiro について
ISIR, Osaka Univ., Ibaraki, Osaka 567-0047, JPN について
Microelectronic Engineering について
フッ化塩素 について
アルゴン について
クラスタ について
RIE【エッチング】 について
アスペクト比 について
パターン形成 について
クラスタビーム について
レジスト について
断面 について
走査電子顕微鏡 について
電子顕微鏡観察 について
中性クラスタ について
中性クラスタエッチング について
固体デバイス製造技術一般 について
Ar について
中性クラスタ について
エッチング について
高アスペクト比 について
パターニング について