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J-GLOBAL ID：201502216795941994   整理番号：15A0841920

摺動駆動電極によるLameモード正八角マイクロエレクトロメカニカルシステム共振器の2ポート構成の評価

Evaluation on two-port configuration of a Lame-mode octagonal microelectromechanical systems resonator driven by sliding driving electrodes

著者 (4件)： TSUJISHITA Katsuhiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  TANIGAWA Hiroshi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  FURUTSUKA Takashi (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  SUZUKI Kenichiro (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 54  号： 6S1  ページ： 06FP05.1-06FP05.5  発行年： 2015年06月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)共振器の著しい改善を報告する。著者らの以前の仕事では駆動電極(DE)と共振プレート間のギャップは摺動するDEにより達成され,12MHzに明らかな共振を示した。しかしながら,そのためには大きなプルイン電圧と精妙な測定技術が必要であった。本研究でDE用のソフトなスプリングを設計し,フィードスルー電流をキャンセルするための2ポート構成を評価した。測定の結果,プルイン電圧は以前の共振器の値の1/3に減少し,作製した2ポート回路で共振が観察された。このようなプルイン電圧はチャージポンプ回路との組み合わせで2.5Vのソースから十分発生することが可能である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *共振器 ,  MEMS ,  電極 ,  滑り ,  ばね ,  *電圧 ,  共振 ,  振動モード
準シソーラス用語： *MEMS共振器 ,  *プルイン電圧 ,  駆動電圧 ,  摺動

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

引用文献 (32件)：

• M. Hikita, N. Matsuura, K. Yokoyama, N. Shibagaki, and K. Sakiyama, IEEE Trans. Microwave Theory Tech. 50, 2629 (2002).
• J. Wang, Z. Ren, and C. T.-C. Nguyen, IEEE Trans. Ultrason. 51, 1607 (2004).
• F. Nabki, K. Allidina, F. Ahmad, P.-V. Cicek, and M. N. El-Gamal, IEEE J. Solid-State Circuits 44, 2154 (2009).
• H. Tanigawa, S. Makita, and K. Suzuki, IEEJ Trans. Electr. Electron. Eng. 5, 164 (2010).
• S. Kuroda, N. Suzuki, H. Tanigawa, and K. Suzuki, J. Appl. Phys. 52, 06GL14 (2013).

タイトルに関連する用語 (6件)： 摺動 ,  駆動電極 ,  マイクロエレクトロメカニカルシステム ,  共振器 ,  ポート ,  評価