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J-GLOBAL ID：201502294295862451   整理番号：15A0724115

高周波数圧力源を使った多重マイクロアクチュエータ

A Multiple-Microactuator System Using a High-Frequency Pressure Source

著者 (4件)： YOSHIDA Kazuhiro (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  YAMAMOTO Satoshi (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  EOM Sang In (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  YOKOTA Shinichi (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 27  号： 4  ページ： 317-328  発行年： 2015年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 管内作動マイクロマシンのような多重高出力マイクロアクチュエータを有するマイクロマシンに関して,高周波数圧力源を使った多重マイクロアクチュエータを提案し,開発した。このシステムは,高周波数圧電圧力源,油圧マイクロアクチュエータ装置,およびパイプで構成されており,油圧マイクロアクチュエータ装置は2コのチャンバと2コの薄い圧電弁とを有する屈曲型ゴムアクチュエータで構成されている。各々の弁はアクチュエータについている対応するチャンバに接続されている。圧力源からの交番流は,弁の同調切替によって調整され,屈曲型ゴムアクチュエータは段階的に曲がる。それぞれの油圧マイクロアクチュエータは,作動流体の供給および戻り用の1本のパイプだけを必要としているので,小さなパイピングスペースが,この多重アクチュエータシステムにとって有効である。更に,高い応答性の圧力源と弁によって,高い位置分解能と圧力源の小型化が実現する。圧電バイモルフ板を使った薄い圧電弁と高周波数圧電圧力源を提案し,製作し,実験的に特徴化した。次に,長さ10mmの屈曲型ゴムアクチュエータを製作し,大型モデルシステムを構築した。その作動を実験的にテストし特徴づけた結果,3mmの最大先端変位と12mNの最大力を確認した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： マイクロマシン ,  *マイクロアクチュエータ ,  *HF【周波数】 ,  *圧電気 ,  加圧装置 ,  発生 ,  流体 ,  *圧力源 ,  *作動流体
準シソーラス用語： 高周波 ,  バイモルフ

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

引用文献 (10件)：

• M. Takeda: Technical Digest of 14th IEEE Int. Conf. Micro Electro Mechanical Systems 2001 (MEMS 2001) (IEEE, 2001) p. 182.
• K. Suzumori, T. Miyagawa, M. Kimura and Y. Hasegawa: IEEE/ASME Trans. Mechatron. 4 (1999) 286.
• Y. Nakazato, Y. Sonobe and S. Toyama: J. Mech. Sci. Technol. 1 (2010) 51.
• K. Yoshida, K. Takahashi and S. Yokota: JSME Int. J., B 43 (2000) 29.
• K. Yoshida and S. Yokota: Preprints 6th Int. Conf. Flow Meas. (FLOMEKO'93) (1993) p. 122.

タイトルに関連する用語 (4件)： 高周波数 ,  圧力源 ,  多重 ,  マイクロアクチュエータ