特許
J-GLOBAL ID:201503002325705480

焦点調整装置および焦点調整方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人広江アソシエイツ特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-260942
公開番号(公開出願番号):特開2014-095908
特許番号:特許第5690394号
出願日: 2013年12月18日
公開日(公表日): 2014年05月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】 高開口数対物レンズと、この高開口数対物レンズの焦点を調整するための焦点調整装置とを含む光学システムであって、 前記焦点調整装置が、 中間像区域内に像を形成するためと、前記中間像区域内で選択された焦点面からの光を受けて再び焦点を合わせることによって像を捕捉するための像形成捕捉手段と、 前記中間像区域内で前記選択された焦点面の位置を調整するための焦点調整手段と、 を備えており、 前記像形成捕捉手段は、前記中間像区域に像を形成する少なくとも一つの高開口数レンズと、前記中間像区域内で像を形成する光を受けるように配置された別体の光学的な構成要素とを含んでおり、当該別体の光学的な構成要素は反射要素または第2の高開口数レンズのいずれか一方を含んでおり、 前記焦点調整手段は、前記少なくとも一つの高開口数レンズと前記別体の光学的な構成要素との相対的な軸方向位置を調整するように構成されており、 前記少なくとも一つの高開口数レンズが、前記高開口数対物レンズと光学的に整合されており、かつ空気中の開口数が少なくとも0.5であることを特徴とする光学システム。
IPC (2件):
G02B 21/00 ( 200 6.01) ,  G02B 21/24 ( 200 6.01)
FI (2件):
G02B 21/00 ,  G02B 21/24
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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