特許
J-GLOBAL ID：201503003862557207

表面にナノ物体を位置付けるための方法および装置

発明者：
ドゥエリク、ウルス、ティー

ドゥエリク、ウルス、ティー について

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ホルツナー、フェリックス

ホルツナー、フェリックス について

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クノール、アルミン、ダブリュー

クノール、アルミン、ダブリュー について

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リース、ヴァルター、ハインリッヒ

リース、ヴァルター、ハインリッヒ について


出願人/特許権者：
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション

インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション について


代理人 (2件)： 上野 剛史 ,  太佐 種一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-509536
公開番号（公開出願番号）：特表2015-522941
出願日： 2013年04月25日
公開日（公表日）： 2015年08月06日
要約：
【課題】表面にナノ物体(20)を位置付けるための装置および方法を提供する。【解決手段】本方法は、向かい合った第1の表面(15)および第2の表面(17)を含む2つの表面(15、17)であって、2つの表面のうちの少なくとも1つが、ナノスケールの寸法を有する1つまたは複数の位置決め構造(16、16a)を示す、2つの表面、ならびに2つの表面間のナノ物体のイオン性液体懸濁液(30)であって、表面のそれぞれがイオン性液体懸濁液による電気二重層を形成し、2つの表面のそれぞれが同一の電荷符号を有する、イオン性液体懸濁液を設けるステップ(S10〜S50)と、2つの表面の電荷により生じるポテンシャル・エネルギ(31)によって懸濁液中のナノ物体を位置決めし(S60)、ポテンシャル・エネルギの最小値(32)を第1の表面の方へシフトすることによって、ナノ物体の1つまたは複数を位置決め構造によって第1の表面に堆積させるステップ(S70)とを含む。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
表面にナノ物体(20)を位置決めするための方法であって、 向かい合った第1の表面(15)および第2の表面(17)を含む2つの表面(15、17)であって、前記2つの表面のうちの少なくとも1つが、ナノスケールの寸法を有する1つまたは複数の位置決め構造(16、16a)を示す、前記2つの表面、ならびに それぞれが前記2つの表面のそれぞれの表面との界面に形成される2つの電気二重層を含み、前記2つの表面の表面電荷が同一符号である、前記2つの表面間の前記ナノ物体のイオン性液体懸濁液(30) を設けるステップ(S10〜S50)と、 前記2つの表面の前記電荷により生じるポテンシャル・エネルギ(31)によって前記懸濁液中のナノ物体(20)を位置決めし(S60)、前記ポテンシャル・エネルギの最小値(32)を前記第1の表面の方へシフトすることによって、前記ナノ物体の1つまたは複数を前記位置決め構造によって前記第1の表面に堆積させるステップ(S70)と を含む、方法。
IPC (5件)：
H01L 29/06 ,  B82B 3/00 ,  B82Y 40/00 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786
FI (5件)：
H01L29/06 601N ,  B82B3/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L29/78 627C ,  H01L29/78 618C
Fターム (5件)：
5F110EE02 ,  5F110FF01 ,  5F110GG22 ,  5F110GG23 ,  5F110GG42
引用特許：
出願人引用 (4件)
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