特許
J-GLOBAL ID：201503004081191580

自動検査半導体デバイスのレシピ生成のための方法、コンピュータシステムおよび装置

発明者：
デ ウェル コーエン

デ ウェル コーエン について

, 
カレッテ セドリック

カレッテ セドリック について


出願人/特許権者：
ケーエルエー-テンカー コーポレイション

ケーエルエー-テンカー コーポレイション について


代理人 (1件)： 特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-501018
公開番号（公開出願番号）：特表2015-514311
出願日： 2013年03月13日
公開日（公表日）： 2015年05月18日
要約：
半導体デバイスの自動検査のための検査レシピ生成のための方法、コンピュータシステムおよび装置が開示される。検査レシピを生成するために、参照データセットを使用する。参照データセット(参照ウェハマップ)のダイの画像に関する初期レシピを用いて自動検査を実施する。自動検査から検出された検査結果を分類し、分類された検査結果を、ダイ中の欠陥のエキスパート分類で比較する。オーバーキルおよびアンダーキル数が自動的に生成される。オーバーキルおよびアンダーキル数にしたがって、検査レシピパラメータを修正する。検出および/または分類が所定の閾値よりも低い場合は自動検査を繰り返す。
請求項（抜粋）：
半導体デバイスの自動検査のための検査レシピ生成のための方法であって、以下のステップ: 検査レシピ生成のために参照データセットを使用するステップ; 参照データセットのダイの画像に関する初期レシピで自動検査を実施するステップ; 自動検査からの検出された検査結果を分類し、そして分類された検査結果をダイにおける欠陥のエキスパート分類と比較するステップ; オーバーキルおよびアンダーキル数を自動的に生成するステップ;ならびに 検出および/または分類が所定の閾値より低い場合は、検査レシピパラメータを修正し、自動検査を繰り返すステップ を含む、方法。
IPC (1件)：
H01L 21/66
FI (2件)：
H01L21/66 J ,  H01L21/66 Z
Fターム (9件)：
4M106AA01 ,  4M106BA10 ,  4M106CA38 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ26
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)

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