特許
J-GLOBAL ID：201503004251576776

検査装置および検査方法

発明者：
中西 英俊

中西 英俊 について

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伊藤 明

伊藤 明 について

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川山 巌

川山 巌 について

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斗内 政吉

斗内 政吉 について


出願人/特許権者：
株式会社SCREENホールディングス

株式会社SCREENホールディングス について

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国立大学法人大阪大学

国立大学法人大阪大学 について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-061679
公開番号（公開出願番号）：特開2015-184170
出願日： 2014年03月25日
公開日（公表日）： 2015年10月22日
要約：
【課題】検査対象物から放射される電磁波およびPL光を検出する装置のコスト増大および大型化を抑制する技術を提供する。【解決手段】検査装置100は、フォトデバイスである太陽電池90を検査する装置である。検査装置100は、光源であるフェムト秒レーザ121から出射されたパルス光LP11を太陽電池90に照射する照射部12と、パルス光LP11の照射に応じて、太陽電池90から放射される電磁波パルスLT1を検出する電磁波検出部132と、パルス光LP11の照射に応じて、太陽電池90にて発生するフォトルミネッセンス光PL1を検出するPL光検出部14とを備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
半導体デバイスまたはフォトデバイスを含む検査対象物を検査する検査装置であって、 光源から出射されたパルス光を前記検査対象物に照射する照射部と、前記パルス光の照射に応じて、前記検査対象物から放射される電磁波を検出する電磁波検出部と、 前記検査対象物から前記電磁波を発生させる前記パルス光の照射に応じて、前記検査対象物から放射されるフォトルミネッセンス光を検出するPL光検出部と、 を備えている、検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/64 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/00
FI (4件)：
G01N21/64 Z ,  G01M11/00 T ,  G01N21/64 B ,  G01N21/00 B
Fターム (42件)：
2G043AA03 ,  2G043CA07 ,  2G043DA05 ,  2G043EA01 ,  2G043FA01 ,  2G043FA03 ,  2G043HA07 ,  2G043HA09 ,  2G043JA02 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA03 ,  2G043KA05 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043LA03 ,  2G043NA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB16 ,  2G059DD12 ,  2G059EE07 ,  2G059FF01 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059PP04 ,  2G086EE04
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)
引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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