特許
J-GLOBAL ID：201503005470983919

産業用ロボット

発明者：
北原 康行

北原 康行 について

, 
改野 重幸

改野 重幸 について


出願人/特許権者：
日本電産サンキョー株式会社

日本電産サンキョー株式会社 について


代理人 (4件)： 小平 晋 ,  横沢 志郎 ,  河合 徹 ,  河口 伸子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-165273
公開番号（公開出願番号）：特開2015-033737
出願日： 2013年08月08日
公開日（公表日）： 2015年02月19日
要約：
【課題】所定の処理工程の前の基板が搭載されたハンドと異なるハンドにこの処理工程の後の基板を搭載することが可能であっても、構成を簡素化することが可能な産業用ロボットを提供する。【解決手段】産業用ロボット1は、1枚の基板が搭載される基板搭載部20を1個有する第1ハンド部21と複数個の基板搭載部20を有する第2ハンド部22とを具備する第1ハンド11および第2ハンド12と、第1ハンド11がその先端側に回動可能に連結される第1アーム13と、第2ハンド12がその先端側に回動可能に連結される第2アーム14と、第1アーム13の基端側および第2アーム14の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部15とを備えている。この産業用ロボット1では、第1ハンド部21と第2ハンド部22とが個別に回動可能となっており、第1アーム13と第2アーム14とが個別に回動可能となっている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
1枚の基板が搭載される基板搭載部を1個有する第1ハンド部と所定のピッチで上下方向に重なるように配置される複数個の前記基板搭載部を有する第2ハンド部とを具備する第1ハンドおよび第2ハンドと、前記第1ハンドの前記第1ハンド部および前記第2ハンド部がその先端側に回動可能に連結される第1アームと、前記第2ハンドの前記第1ハンド部および前記第2ハンド部がその先端側に回動可能に連結される第2アームと、前記第1アームの基端側および前記第2アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、前記アーム支持部を上下方向へ移動可能に保持する柱部と、前記第1ハンドの前記第1ハンド部を前記第1アームに対して回動させる第1ハンド部回動機構と、前記第1ハンドの前記第2ハンド部を前記第1アームに対して回動させる第2ハンド部回動機構と、前記第2ハンドの前記第1ハンド部を前記第2アームに対して回動させる第3ハンド部回動機構と、前記第2ハンドの前記第2ハンド部を前記第2アームに対して回動させる第4ハンド部回動機構と、前記第1アームを前記アーム支持部に対して回動させる第1アーム回動機構と、前記第2アームを前記アーム支持部に対して回動させる第2アーム回動機構とを備え、 前記第1ハンドの前記第1ハンド部と前記第2ハンド部とは、互いに上下方向で重なるように、かつ、前記第1ハンドの前記第1ハンド部の回動中心と前記第1ハンドの前記第2ハンド部の回動中心とが一致するように配置され、 前記第2ハンドの前記第1ハンド部と前記第2ハンド部とは、互いに上下方向で重なるように、かつ、前記第2ハンドの前記第1ハンド部の回動中心と前記第2ハンドの前記第2ハンド部の回動中心とが一致するように配置され、 前記第1アームは、前記アーム支持部の上面側に取り付けられ、 前記第2アームは、前記アーム支持部の下面側に取り付けられ、 前記第1アームおよび前記第2アームは、前記第1アームの回動中心と前記第2アームの回動中心とが一致するように配置されていることを特徴とする産業用ロボット。
IPC (3件)：
B25J 15/00 ,  B25J 15/08 ,  H01L 21/677
FI (3件)：
B25J15/00 D ,  B25J15/08 Z ,  H01L21/68 A
Fターム (24件)：
3C707AS03 ,  3C707AS24 ,  3C707BS15 ,  3C707DS06 ,  3C707ES03 ,  3C707ES17 ,  3C707NS13 ,  5F131AA02 ,  5F131BA37 ,  5F131CA12 ,  5F131CA37 ,  5F131CA42 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA43 ,  5F131DB03 ,  5F131DB37 ,  5F131DB52 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DB82 ,  5F131DB92 ,  5F131GA03
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-252477   出願人：国際電気株式会社
  • 基板搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-187492   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • ダブルアーム型ロボット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-237583   出願人：株式会社レクザム
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審査官引用 (5件)
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-252477   出願人：国際電気株式会社
  • 基板搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-187492   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • ダブルアーム型ロボット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-237583   出願人：株式会社レクザム
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