特許
J-GLOBAL ID：201503005901903862

感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法

発明者：
生井 準人

生井 準人 について

, 
仁井 啓之

仁井 啓之 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (8件)： 天野 一規 ,  池田 義典 ,  小川 博生 ,  石田 耕治 ,  各務 幸樹 ,  根木 義明 ,  塩谷 隆嗣 ,  藤中 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-070614
公開番号（公開出願番号）：特開2015-191216
出願日： 2014年03月28日
公開日（公表日）： 2015年11月02日
要約：
【課題】良好な保存安定性を確保しつつ、LWR性能、CDU性能、EL性能、放射線感度及び現像欠陥抑制性に優れる感放射線性樹脂組成物の提供を目的とする。【解決手段】本発明は、酸解離性基を含む構造単位を有する第1重合体、感放射線性酸発生体、下記式(1)で表される酸拡散制御剤、及び溶媒を含有する感放射線性樹脂組成物である。式(1)中、R1、R2及びR3は、それぞれ独立して、水素原子又は炭素数1〜20の1価の有機基である。nは、1〜5の整数である。nが2以上の場合、複数のR2はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、複数のR3もそれぞれ同一でも異なっていてもよい。X1及びX2は、それぞれ独立して、酸素原子又は硫黄原子である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
酸解離性基を含む構造単位を有する第1重合体、 感放射線性酸発生体、 下記式(1)で表される酸拡散制御剤、及び 溶媒 を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/004 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027 ,  C08F 220/26
FI (5件)：
G03F7/004 501 ,  G03F7/039 601 ,  G03F7/038 601 ,  H01L21/30 502R ,  C08F220/26
Fターム (73件)：
2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF19P ,  2H125AF20P ,  2H125AF21P ,  2H125AF34P ,  2H125AF38P ,  2H125AF41P ,  2H125AF43P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AH05 ,  2H125AH14 ,  2H125AH15 ,  2H125AH16 ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH23 ,  2H125AH24 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ04Y ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ45Y ,  2H125AJ52X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ69X ,  2H125AL02 ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AN10P ,  2H125AN11P ,  2H125AN39P ,  2H125AN51P ,  2H125AN54P ,  2H125AN63P ,  2H125AN68P ,  2H125AN82P ,  2H125AN88P ,  2H125AN89P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CB16 ,  2H125CC01 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  2H125FA05 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA03R ,  4J100BA11Q ,  4J100BA11R ,  4J100BA15R ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC04R ,  4J100BC09P ,  4J100BC09R ,  4J100BC12P ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53R ,  4J100BC58Q ,  4J100BC58R ,  4J100BC83Q ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (5件)
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