特許
J-GLOBAL ID：201503006968652798
エンコーダスケールの較正方法及びリソグラフィ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-533523
公開番号（公開出願番号）：特表2015-532448
出願日： 2013年09月12日
公開日（公表日）： 2015年11月09日
要約：
第1方向にマークのアレイを有するエンコーダスケールを較正する方法は、第1エンコーダタイプセンサ、第2エンコーダタイプセンサ及び第3エンコーダタイプセンサに対して第1方向にエンコーダスケールを移動させるステップを含み、第1エンコーダタイプセンサ及び第2エンコーダタイプセンサが相互に第1距離で第1方向に固定して間隔を空けられ、第2エンコーダタイプセンサ及び第3エンコーダタイプセンサが相互に第2距離で第1方向に固定して間隔を空けられている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第1方向にマークのアレイを有するエンコーダスケールを較正する方法であって、
第1エンコーダタイプセンサ、第2エンコーダタイプセンサ及び第3エンコーダタイプセンサに対して前記第1方向に前記エンコーダスケールを移動させるステップであって、前記第1エンコーダタイプセンサ及び前記第2エンコーダタイプセンサが相互に第1距離で前記第1方向に固定して間隔を空けられ、前記第2エンコーダタイプセンサ及び前記第3エンコーダタイプセンサが相互に第2距離で前記第1方向に固定して間隔を空けられている、ステップと、
移動中に、前記第1エンコーダタイプセンサからの第1信号、前記第2エンコーダタイプセンサからの第2信号及び前記第3エンコーダタイプセンサからの第3信号を取得するステップであって、
前記第1信号が、前記マークのアレイに基づくと共に前記第1エンコーダタイプに対する前記エンコーダスケールの位置量を表し、
前記第2信号が、前記マークのアレイに基づくと共に前記第2エンコーダタイプセンサに対する前記エンコーダスケールの位置量を表し、
前記第3信号が、前記マークのアレイに基づくと共に前記第3エンコーダタイプセンサに対する前記エンコーダスケールの位置量を表す、ステップと、
前記第1距離及び前記第2距離を考慮しながら、前記第1信号に基づき第1位置信号、前記第2信号に基づき第2位置信号、及び、前記第3信号に基づき第3位置信号を生成するステップと、
前記第1位置信号、前記第2位置信号及び前記第3位置信号を相互に比較することによって比較を生成するステップと、
前記比較に基づいて、前記エンコーダスケールのための較正マップを求めるステップと、を含む方法。
IPC (3件)：
G03F 7/20
, G01B 11/00
, G01D 5/244
G03F7/20 521
, G03F7/20 501
, G01B11/00 A
, G01D5/244 B
2F065AA02
, 2F065AA09
, 2F065AA20
, 2F065BB18
, 2F065EE11
, 2F065FF16
, 2F065FF61
, 2F065LL42
, 2F065MM07
, 2F065QQ25
, 2F077AA12
, 2F077AA20
, 2F077CC02
, 2F077NN24
, 2F077NN27
, 2F077QQ03
, 2F077TT42
, 2F077TT49
, 2F077TT52
, 2F077TT71
, 2H197CD12
, 2H197CD43
, 2H197DA03
, 2H197DA06
, 2H197DA09
, 2H197DC06
, 2H197DC13
, 2H197DC18
, 2H197HA03
, 2H197HA04
, 2H197HA05
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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