特許
J-GLOBAL ID：201503007586971261

圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びセンサー

発明者：
古林 智一

古林 智一 について

, 
両角 浩一

両角 浩一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  渡辺 和昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-071237
公開番号（公開出願番号）：特開2015-195236
出願日： 2014年03月31日
公開日（公表日）： 2015年11月05日
要約：
【課題】印加電圧に対する電圧降下の影響を低減できるシード層を用いて、圧電体層を(100)面に優先配向させると共に変位量を向上することができる圧電素子、圧電素子を具備する液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びセンサーを提供する。【解決手段】第1電極60と、第1電極60にシード層65を介して設けられた圧電体層70と、圧電体層70に設けられた第2電極80とを備えた圧電素子300であって、シード層65は、ペロブスカイト構造を有してAサイトがビスマスを含み、Bサイトが鉄及びチタンを含む(100)面に優先配向している複合酸化物からなり、圧電体層70は、ペロブスカイト構造を有して(100)面に優先配向している圧電材料からなり、シード層65の厚さは、20nm未満である。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第1電極と、前記第1電極にシード層を介して設けられた圧電体層と、前記圧電体層に設けられた第2電極とを備えた圧電素子であって、 前記シード層は、ペロブスカイト構造を有してAサイトがビスマスを含み、Bサイトが鉄及びチタンを含む(100)面に優先配向している複合酸化物からなり、 前記圧電体層は、ペロブスカイト構造を有して(100)面に優先配向している圧電材料からなり、 前記シード層の厚さは、20nm未満であることを特徴とする圧電素子。
IPC (4件)：
H01L 41/319 ,  H01L 41/047 ,  H01L 41/09 ,  B41J 2/14
FI (4件)：
H01L41/319 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  B41J2/14 305
Fターム (4件)：
2C057AF52 ,  2C057AG44 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM