特許
J-GLOBAL ID：201503009111389048

研磨パッド及びその製造方法

発明者：
糸山 光紀

糸山 光紀 について

, 
高橋 大介

高橋 大介 について


出願人/特許権者：
富士紡ホールディングス株式会社

富士紡ホールディングス株式会社 について


代理人 (7件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  箱田 篤 ,  浅井 賢治 ,  山崎 一夫 ,  市川 さつき ,  岩澤 朋之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-072366
公開番号（公開出願番号）：特開2015-193057
出願日： 2014年03月31日
公開日（公表日）： 2015年11月05日
要約：
【課題】被研磨物に対して、高い平坦性を付与でき、かつ傷の発生を抑制することもできる、研磨パッド及びその製造方法を提供する。【解決手段】独立気泡及び連続気泡を含む発泡ウレタンシートを表面に備えた研磨パッドにおいて、前記発泡ウレタンシートが、以下の要件(1)〜(3):(1)連続気泡率(独立気泡及び連続気泡の合計体積を100体積%としたときの連続気泡の体積割合)が、20〜80体積%、(2)吸水状態での損失係数tanδと乾燥状態での損失係数tanδとの比[tanδ(wet/dry)比]が、JIS K7244-4に準拠して測定(初期荷重20g、測定周波数1Hz、温度26°C、引っ張りモード、歪範囲0.01〜0.1%)したとき、1.3〜1.7、及び(3)ショアDO硬度が、ASTM D2240に準拠して測定したとき、60〜80を満たすように構成する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
独立気泡及び連続気泡を含む発泡ウレタンシートを表面に備えた研磨パッドであって、 前記発泡ウレタンシートが、以下の要件(1)〜(3): (1)連続気泡率(独立気泡及び連続気泡の合計体積を100体積%としたときの連続気泡の体積割合)が、20〜80体積%、 (2)吸水状態での損失係数tanδと乾燥状態での損失係数tanδとの比[tanδ(wet/dry)比]が、JIS K7244-4に準拠して測定(初期荷重20g、測定周波数1Hz、温度26°C、引っ張りモード、歪範囲0.01〜0.1%)したとき、1.3〜1.7、及び (3)ショアDO硬度が、ASTM D2240に準拠して測定したとき、60〜80 を満たす、前記研磨パッド。
IPC (5件)：
B24B 37/24 ,  B24B 37/26 ,  H01L 21/304 ,  C08G 18/00 ,  C08G 18/10
FI (5件)：
B24B37/00 P ,  B24B37/00 T ,  H01L21/304 622F ,  C08G18/00 F ,  C08G18/10
Fターム (66件)：
3C158AA07 ,  3C158AA09 ,  3C158CA01 ,  3C158CA06 ,  3C158CB01 ,  3C158CB10 ,  3C158DA12 ,  3C158EA01 ,  3C158EB01 ,  3C158EB11 ,  3C158EB12 ,  3C158EB20 ,  3C158EB23 ,  3C158EB28 ,  4J034CA04 ,  4J034CA05 ,  4J034CA15 ,  4J034CB03 ,  4J034CC02 ,  4J034CC12 ,  4J034DF01 ,  4J034DF02 ,  4J034DF20 ,  4J034DG03 ,  4J034DG04 ,  4J034DG06 ,  4J034DP18 ,  4J034HA02 ,  4J034HA07 ,  4J034HB07 ,  4J034HB08 ,  4J034HC03 ,  4J034HC12 ,  4J034HC22 ,  4J034HC71 ,  4J034HC73 ,  4J034JA42 ,  4J034KA01 ,  4J034KB02 ,  4J034KB03 ,  4J034KB05 ,  4J034KC02 ,  4J034KC17 ,  4J034KD02 ,  4J034KD03 ,  4J034KD07 ,  4J034KD12 ,  4J034KD17 ,  4J034KE02 ,  4J034NA03 ,  4J034NA06 ,  4J034QC01 ,  4J034QD03 ,  4J034RA19 ,  5F057AA03 ,  5F057AA05 ,  5F057BA12 ,  5F057BB03 ,  5F057BB40 ,  5F057CA19 ,  5F057DA03 ,  5F057EA33 ,  5F057EB03 ,  5F057EB07 ,  5F057EB13 ,  5F057EB30
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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